什么是旋片真空泵?

[拼音]：xuanpian zhenkongbeng

[外文]：sliding-vane rotary vacuum pump

装有滑片的偏置转子在泵腔内作回转运动，使由滑片分隔的泵腔工作室容积周期性变化以实现抽气的真空泵，又称滑片真空泵。图为旋片真空泵的工作原理。它主要由泵体（静子）和转子组成。在转子槽中装有两块以上的滑片，有些泵滑片间还装有d簧。转子偏心地装在泵腔内，其外缘与泵腔顶部表面的间隙为2～3微米。转子旋转时，在离心力等作用下，滑片沿槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触，将泵腔分成两个或几个可变容积的工作室。转子顺时针方向旋转时，与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大，腔内气体压力降低，被抽气体便从吸气口源源不断地吸入（图中a）。同时，与排气口相通的排气腔容积由大变小，吸入腔内的气体被压缩，待气体压力高于大气压力时，推开排气阀排出大气（图中b）。转子连续转动，泵便不断抽气。

排气阀浸在油里，油通过排气阀和油孔进入泵腔，使泵腔内所有运动件的表面覆盖一层油膜，密封住吸气腔与排气腔间的间隙，防止气体返流。这些油还能减少排气腔内的有害空间，以消除它们对极限压力的影响。因此这种真空泵是一种油封式机械真空泵。随着技术的发展、制造工艺的完善和优质材料的选用，小型滑片真空泵的转轴可与电动机轴直联，转速可高达1450转／分，大大提高了泵的抽气速率和减轻了泵的重量。

滑片真空泵的抽速范围为0.5～150升/秒(1升＝10-3米3)，工作压力范围一般为1×105～1帕，较大抽速的压力范围为1×105～13帕。极限压力：单级泵为1帕，双级泵为6.5×10-2帕。旋片真空泵一般只适于抽除干燥或含有少量可凝性蒸汽的气体（对于后者须装气镇阀），不适于抽除含氧过高、爆炸性、腐蚀性、对泵油起化学作用和含有固体颗粒的气体。在真空系统中，这种泵可单独使用，或作为增压泵、扩散泵等的前级泵。