[Æ´Òô]£ºsifuhuagui
[ÍâÎÄ]£ºsilicon tetrafluoride
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SiF4+2HF©¤¡úH2SiF6
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Si+2F2©¤¡úSiF4
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SiO2+4HF©¤¡úSiF4+2H2O
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