MEMS制造过程中的微量氧监控_技术

MEMS（即微电子机械系统）有时被称为微机械，由机械和电气组件组成，它们作为一个系统共同工作，以实现智能手机、喷墨打印机、医疗设备、健身器械、家庭自动化和汽车所需的功能，列出一些商业用途。MEMS是通过一种称为微加工的工艺制造的，MEMS的尺寸可以从小于一微米（比人头发的宽度小）到几毫米不等。

这只是MEMS的许多商业和工业应用中的一小部分

微机电系统（MEMS）使智能手机屏幕能够从横向到纵向再向后旋转，它们可以使手机充当方向盘，让玩家在赛车电子游戏中“驾驶”绕过障碍物。得益于MEMS的优点，智能手机被用作导航、数字钱包，并通过使用指纹提供安全的方式登录手机应用程序。

医疗行业在压力传感器应用中使用MEMS，包括一次性血压监测仪、分娩期间测量宫内压力以及使用呼吸机监测患者的呼吸。

可穿戴式健身器械利用MEMS（含加速度计和陀螺仪）结合全球定位系统（GPS）计算用户的步幅和速度，并显示用户的路线。

房主们享受着MEMS技术提供的调节空气质量和温度、灯光和安全系统的便利。MEMS传感器可以编程，根据读取的结果调整空气循环和恒温器。家庭安全系统使用基于MEMS的运动传感器，在强行进入导致运动变化或异常振动时发出警报。

汽车制造商将MEMS技术应用于许多应用中，包括评估车辆碰撞以进行碰撞检测和安全气囊展开，以及轮胎压力监测系统、车辆动态控制（帮助驾驶员在车辆开始打滑时重新获得控制）、语音系统，还有车内的气候控制。

MEMS制造中的氮使用

MEMS器件的制造是在洁净室（密封、全自动环境）内的工艺室（低压、真空、温控环境）中进行的。

所有工艺/真空室、机械和洁净室必须无污染。生产过程中产生或使用的灰尘、气载微粒、气溶胶、化学蒸汽和残余气体必须从环境中除去，以保护所制造设备的完整性。

氮气（N2）是一种无色无味的惰性气体，是创造和维持MEMS制造所需无菌环境的关键成分。MEMS制造厂通常使用大量氮气对制造环境进行消毒，除去腔室和气体管线中的残余气体，并在工艺步骤之间除去工艺腔室中的杂质。

氧气分析仪保护MEMS制造的完整性

制造员工必须持续监控工艺室和洁净室中的氮气水平，以保护这些区域不受杂质的影响，这些杂质可能会损害正在生产的MEMS的质量和可靠性，并防止氮气泄漏，从而导致无菌环境失效，同样，也会损害MEMS设备的完整性。

利用高质量的氧气分析仪，MEMS制造人员可以测量工作区域的氮水平。氧气分析仪传感器应置于工艺/真空室和洁净室内，以测量和控制氧气水平。上海高传电子代理的Ntron 氧气分析仪Microx-231是一款量程为1PPM-25%vol的氧化锆氧气分析仪，寿命长达5年，精度为测量值的2%。典型应用：手套箱吹扫核泄漏检测，3D金属打印，波峰焊，气体分离，惰性烘箱等场合。