罕王集团是中国东北(沈阳)的大型民营铁矿生产集团,该公司已开始为生产微机电系统(MEMS)兴建一家大型晶圆厂。
罕王集团打算生产惯性传感器和硅膜麦克风,这两种产品在中国都有旺盛的需求。该公司也在讨论生产胎压传感器和用于医疗应用的微流体MEMS。中国目前生产的大量电子设备所使用的MEMS器件,几乎全部需要进口。由于没有关税和劳动力成本较低,罕王MEMS器件的成本将低于进口产品,因此应该能够在中国系统生产商中找到买家。
为了实现上述目标,罕王集团成立了合资子公司Hanking Electronics Co. Ltd.,并聘请MEMS产业资深人士Doug Sparks担任执行副总裁帮助实施相关计划。Sparks向总裁兼首席执行官Lucy Huang报告。
晶圆厂2012年3月动工兴建,位于沈阳以东40英里左右的抚顺。Sparks表示,工厂将坐落在罕王MEMS工业园(HMIP)之中,道路已经在2011年平整完毕。工业园位于抚顺经济开发区,占地约160英亩。
罕王计划投资30亿元人民币(约4.75亿美元),分三个阶段进行开发。Sparks表示,尽管初期准备安装200毫米晶圆生产设备,但厂房是为满足“300毫米晶圆生产”建造的。他预测,将在几年内向生产300毫米MEMS晶圆过渡,目前MEMS领域还没有一家厂商能够生产300毫米晶圆。
Sparks表示,MEMS晶圆厂在第一阶段,将能够在2014年每月生产大约4000个200毫米初制晶圆。他说,“我们将在2013年以前拥有后端处理制程,比如电镀与蚀刻,再过一年可能就会拥有所有制程。”
但Sparks并不十分担心进度拖延。他说,罕王进入MEMS领域是一项长期计划,而且资金充足。中国罕王控股有限公司是罕王集团的附属企业之一,2011年9月在香港上市,2011年净利润为6.706亿元人民币,营业收入为14.5亿元人民币(约合2.3亿美元)。Sparks表示,整个集团的年营业收入约为5.5亿美元。
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