tft制造原理与简单制造流程

　　何谓 TFT-LCD？ TFT-LCD 即是 Thin-Film Transistor Liquid-Crystal Display 的缩写（薄膜电晶体液晶显示器）TFT-LCD 如何点 亮？ 简单说， TFT-LCD 面板可视为两片玻璃基板中间夹着一层液晶， 上层的玻璃基板是与彩色滤光片（Color Filter） 结合，而下层的玻璃则有电晶体镶嵌于上。 当电流通过电晶体产生电场变化，造成液晶分子偏转，借以改变光线 的偏极性，再利用偏光片决定画素（Pixel）的明暗状态。 此外，上层玻璃因与彩色滤光片贴合，形成每个画素（Pixel） 各包含红蓝绿三颜色，这些发出红蓝绿色彩的画素便构成了面板上的影像画面。 TFT-LCD 的三段主要的制程： 的三段主要的制程： 前段 Array 前段的 Array 制程与半导体制程相似，但不同的是将薄膜电晶体制作于玻璃上，而非矽晶圆上。 中段 Cell 中段的 Cell ，是以前段 Array 的玻璃为基板，与彩色滤光片的玻璃基板结合，并在两片玻璃基板间灌入液晶 （LC）。 模组组装） 后段 Module Assembly （模组组装 模组组装 后段模组组装制程是将 Cell 制程后的玻璃与其他如背光板、电路、外框等多种零组件组装的生产作业。

　

　　TFT-LCD主要的三段制程：

　　首先是前段Array

　　前段部分的Array 制程和半导体制程相似，但是不同的是将薄膜电晶体制作在玻璃之上，而不是矽晶圆上面。

　　然后是中段Cell

　　中段部分的Cell ，是以前段的Array玻璃作为基板，和彩色的滤光片玻璃基板相结合，并且在两片玻璃基板之间灌入液晶（LC）。

　　最后是后段Module Assembly （模组组装）

　　后段模组的组装制程则是将Cell制程之后的玻璃和其他的如电路、外框、背光板等等多种零组件组装生产的作业。

　　1.阵列制程（array）

　　1）一片表面光滑，没有任何杂质的玻璃，是制造TFT玻璃基板最主要的原料。在制作之前，需用特殊的冼净液，将玻璃洗得干干净净，然后脱水，甩干。

　　2）要使玻璃基板镀上金属薄膜，需先将金属材料放在真空室内，让金属上面的特殊气体产生电浆后，金属上的原子就会被撞向玻璃，然后就形成一层层的金属薄膜了。

　　3）镀完金属膜后，我们还要镀上一层不导电层与半导电层，在真空室内，先将玻璃板加温，然后由高压电的喷洒器喷洒特殊气体，让电子与气体产生电浆，经过化学反应后，玻璃上就形成了不导电层与半导体层。

　　4）薄膜形成后，我们要在玻璃上制作电晶体的图案。首先，要进入黄光室喷上感光极强的光阻液，然后套上光罩照射蓝紫光进行曝光，最后送到显影区喷洒显影液，这样可以去除照光后的光阻，还可以让光阻层定型哦。

　　5）光阻定型后，我们可用蚀刻进行湿式蚀刻，将没有用的薄膜露出，也可用电浆的化学反应进行干式蚀刻，蚀刻后再将留下的光阻以溜液去除，最后就产生电晶体所需要的电路图案了。

　　6）要形成可用的薄膜电晶体，需要重复清洗，镀膜，上光阻，曝光，显影，蚀刻，去光阻等过程，一般来说，要制造TFT-LCD，就要重复5到7次。