MEMS传感技术在工业设备领域中的发展趋势

目前，MEMS传感器在消费性电子市场，如平板装置、智能手机、笔记本电脑、消费型无人机等领域，应用已非常广泛。随着智能手机、平板电脑等消费性电子品出货率略微下滑，MEMS相关业者开始将目光转向工业4.0。

MEMS器件在未来工业4.0应用中将得以进一步拓展。资料图

台湾罗姆公司设计中心产品经理李正宁认为，包括加速度传感器、陀螺仪、磁力计等在内的MEMS器件的应用，一直以来技术都用于消费电子领域，即使目前消费性电子市场出货量仍有一定的规模，但相关MEMS元件供应商，也开始寻找新的市场机会。其中，会产生高重力加速度（G）值的应用，即将成为业者锁定的新目标市场。

李正宁指出，会产生高重力加速度（G）值的装置包括洗衣机、工业马达、无人机与运动用品等。这是因为这些装置，一旦损坏，无论是对消费者或是工厂业主来说，都将是极大损失。举例来说，工业马达往往是某些工业机械设备或机器手臂的重要零件之一，如果马达损坏面临维修，工厂将面临停工损失。此外，洗衣机洗衣槽若是因为衣物放的不够平均，在脱水时洗衣槽会有旋转不平均的现象发生，容易导致G值过高，将造成洗衣槽损坏。

很多工业设备制造商开始在现有机器上安装MEMS监测传感器。资料图

不过，随着近两年工业4.0话题的发酵，一些厂商开始慢慢接受在现有的机器上安装传感器，以便随时监控设备的安全性与稳定性。如此一来，便可预先得知机器的老化活损坏信息，提前预警，避免更大的停工损失。

有鉴于此，罗姆推出可检测±32g小型加速度传感器，以抢攻上述应用市场。过去的加速度传感器大约可检测到低于±20g，如智能手机的倾斜或笔记本电脑受外力而掉落时，进一步保护内部资料。李正宁认为，随着一些工业或是专业用器材走向高功能与多样化的发展后，对于可感测大G值的加速度传感器的需求也随之而起，尤其是工业4.0带来的新革新，更是为加速度传感器、陀螺仪等MEMS传感器带来新的市场商机。

事实上，现阶段MEMS传感器在台湾工业应用市场的应用前景还不明显。李正宁表示，工业4.0的概念在欧美较为盛行，对于机器加入新的MEMS传感器接受度较高，但台湾业者仍需拓展相关市场，这样，MEMS元件在台湾的工业市场才能有更大开展。