MEMS制造需面向应用、建立平台

应用材料公司全球服务产品事业部200毫米半导体及动力辅助设备副总裁原铮博士：从全球来看，2014年到2015年的增长势头非常好，但是亚洲地区的发展更明显，尤其是中国大陆和中国台湾地区。

应用材料公司全球服务产品事业部设备产品部门200 毫米半导体及动力辅助设备副总裁原铮博士

成本控制是MEMS制造的主旋律

200毫米还是300毫米？300毫米MEMS制程还是起步阶段。一些客户反映，究竟用300还是200毫米，实际不是技术问题，而是现实成本考虑的问题。

MEMS集成一般是不同工艺层的叠加。从制造角度看，MEMS本身就是一种特殊的工艺，可以和芯片（die）组合在一起，在制造或封装阶段都可以集成在一起。但是很少有直接在前工序制造就做在一起的，因为前工序制造难度较大，而且也没必要，主要是成本方面的考虑。

另外，应用材料公司这几年发展比较快的一个因素，除了市场发展比较快，还有就是市场有一个转变：在第一波MEMS发展过程中，主要靠工艺驱动;现在很多新材料包括PSO压电材料采用，这些部分是应用材料公司的强项，因为应用材料公司的核心技术是材料工程。

本土MEMS传感器公司越来越多

本土MEMS传感器企业越来越多。但是世界MEMS领军企业还是以欧美的几大厂商为主。MEMS之所以在欧美可以持续很长时间，一是因为MEMS传感器需要漫长的打基础时间，另外企业需要有远见，并坚持去实现。

中国MEMS传感器企业的机会是相当多的，因为市场和需求都在中国。还有很多中国特殊的兴趣点，例如PM2.5在中国很敏感，但是很多美国人不知道。

中国MEMS企业自己要创造一个平台，提升技术，而不是搞价格战。同时做满足本土应用的传感器。中国人口众多，物联网市场的多样性、可变性就很多。而且以应用为导向的产品是中国的强项，但是没有一个基本的技术平台就显得水平较低了，如果估值都不准确也不行，像PM2.5感测一样。

同时必须要要有远见，因为国内有一些政府投资的企业的审批时间较长。例如一家客户从提交给政府方案到现在已经三年了，三年这个世界已经变化很多，例如到底上6英寸还是上8英寸？当年我们就告诉客户要上8英寸，因为现在人们都考虑12英寸了。

中国传感器企业做时，先有一些创意，而不是“大就是好的”。做MEMS还是要想深入一点，每一步都要有规划。

MEMS制造技术

谁也不要小看彼此。MEMS传感器市场很大，足够容纳IDM（集成器件制造商）和Foundry（代工厂）。不过，如果传感器领域到了数千亿级别时，还是要有比较统一的设计平台。

未来三到五年，先进工艺和成熟工艺哪个在中国的停留空间更长一些？先进工艺还是会继续往前走，今后三到五年没有问题，但是随着物联网的发展，人们越来越清晰地理解到底是什么，也开发出不同的应用，这些遗留的300毫米和遗留的200毫米应用会和现在有很大的区别。尤其像用到40纳米和50、90纳米这部分，怎么用到物联网，我觉得这部分会有比较多的开发。就像200毫米一开始的时候，最早200毫米是主流。现在有一些设备可能不会有竞争力了，又转到制造功率器件，有一些可能功率器件也没有竞争力了，还可以继续转到MEMS制造。

因为对于技术理解的需求，以及物联网的需求，所以以应用导向的这部分我觉得空间是很大的。