山东芯诺电子科技股份有限公司成立于2010年8月,位于山东省济宁市兖州区经济开发区,是一家集研发、制造、销售为一体的半导体国家级高新技术企业,主营产品为GPP芯片、可控硅芯片、新型TO系列功率器件、军工用二极管、三极管,产品广泛应用于航空航天、导d、船舶、手机、PC电脑、数码产品、家用电器、仪器仪表、LED照明产品等领域。
山东恒芯电子有限公司由香港卫理集团有限公司于2021年在德州天衢新区投资设立,公司注册资金5000万美元,是一家以智能AI机器人、智慧城市、医疗设备、平板电脑、智能穿戴产品、智能手机等智能电子产品的研发、生产、销售为一体,同时开发网络平台及5G产品和技术的外资企业。
制造业是指对制造资源(物料、能源、设备、工具、资金、技术、信息和人力等),按照市场要求,通过制造过程,转化为可供人们使用和利用的大型工具、工业品与生活消费品的行业。
MOCVD 设备是制作LED外延片的关键设备,而LED外延片的水平决定了整个LED产业的水平。我国于2003年正式实施“国家半导体照明工程”,并在“十五”、 “十一五”重点攻关课题和“863”计划中,将MOCVD设备国产化列入重点支持方向。在国家策的支持下,“十五”期间,我国在MOCVD设备国产化方面已取得了初步成效。中国电子科技集团公司第四十八研究所通过消化吸收和关键技术再创新等措施,研发成功了GaN生产型MOCVD设备(6*2″),填补了国内空白,使长期制约我国LED产业发展的装备瓶颈得以突破。同时,中科院半导体所、南昌大学、青岛杰生电器等单位也成功研发了研究型的MOCVD设备。然而,国产MOCVD设备还存在以下问题:(1) 国产MOCVD设备仍处于技术跟踪阶段,设备产业化水平与生产需要不相适应 目前,国内研制的MOCVD设备最大产能为6片(48 所的GaN-MOCVD)。然而,截至到2007年12月,在国外推出的最新型MOCVD设备中,AIXTRON已推出行星式反应器的42片机(AIX2800G4 HT)和CCS反应器的30片机(CRIUS)。
由于产能的差距,小批量的MOCVD设备外延片生产成本较高,大大降低了设备的性价比,使得国产设备刚研发出来就已经落后了。量产企业对单批产能的最低要求是在30片以上。
(2) 设备造价高,应用风险大,多数厂商更愿意采购技术成熟的进口设备 MOCVD设备的造价昂贵,生产型MOCVD设备的售价高达1000~2000万元。厂商对此类设备的采购均十分谨慎,更愿意采购技术成熟、售后服务完善的进口设备,使得国产MOCVD设备的推广处于尴尬的境地。
(3) 自主创新有待加强,国产MOCVD设备面临专利壁垒
目前,国产MOCVD设备的研发还处于“消化、吸收”阶段,而国外主流商用机型已建立严密的专利保护,如AIXTRON的Planetary Reactor反应器、THOMAS SAWN的CCS(Close Coupled Showerhead Reactor)反应器、VEECO的Turbo Disk反应器和日本SANSO公司双/多束气流(TF)反应器均是自己独有的专利技术,国产MOCVD设备产业化面临专利壁垒的考验。
三、发展趋势及生产效率
1、生产效率和成本概况
国际上MOCVD技术已经相当成熟,主流设备从2003 年6-8 片机、2004 年12 片机、2005 年15片机、2006 年的21-24 片机,目前已经达到42、45、49 片机(一次可装载49片2英寸的衬底生长外延)。 外延炉容量的不断扩大让LED 外延片生产商的单位生产成本快速大幅下降。目前,量产企业对单批产能的最低要求是在30片以上。
2、4英寸MOCVD设备将成为主流
现阶段台湾外延厂商在技术上已经具备生产4英寸和6英寸的能力,但是出于成本的考虑,多数台湾厂家还是以2英寸的MOVCD设备为生产主线;大部分欧美与韩国厂商则早已使用4英寸MOVCD设备。
市场预期一旦4英寸外延片材料成本大幅崩落(目前4英寸外延片的成本价格约为2寸外延片的四倍),2英寸的MOCVD设备将逐渐被4英寸所取代。
AIXTRON 与SemiLEDs在2009年5月就合作开发出6寸蓝光LED芯片,在6x6寸AIX 2800G4 HT MOCVD反应炉的结构上,产量增加约30%(相较于传统42x2-inch的架构),不但均匀性较好,也减少了边缘效应(edge effect)。不过就现阶段而言,大多数的困难仍然在于6寸的基板价格偏高与外延片切割技术的挑战。
实际上,对于MOCVD和MBE技术来说,采用它们所制备的外延结构和器件的性能没有很大的差别。MOCVD技术最吸引入的地方在于它的通用性,只要能够选取到合适的金属有机源就可以进行外延生长。而且只要保证气流和温度的均匀分布就可以获得大面积的均匀材料,适合进行大规模工业化生产。
MOCVD技术的主要缺点大部分均与其所采用的反应源有关。首先是所采用的金属有机化合物和氢化物源价格较为昂贵,其次是由于部分源易燃易爆或者有毒,因此有一定的危险性,并且,反应后产物需要进行无害化处理,以避免造成环境污染。另外,由于所采用的源中包含其他元素(如C,H等),需要对反应过程进行仔细控制以避免引入非故意掺杂的杂质。
通常MOCVD生长的过程可以描述如下:被精确控制流量的反应源材料在载气(通常为H2,也有的系统采用N2)的携带下被通入石英或者不锈钢的反应室,在衬底上发生表面反应后生长外延层,衬底是放置在被加热的基座上的。在反应后残留的尾气被扫出反应室,通过去除微粒和毒性的尾气处理装置后被排出系统。MOCVD工作原理如图所示。
一台MOCVD生长设备可以简要地分为以下的4个部分。
(1)气体 *** 作系统:
气体 *** 作系统包括控制Ⅲ族金属有机源和V族氢化物源的气流及其混合物所采用的所有的阀门、泵以及各种设备和管路。其中,最重要的是对通入反应室进行反应的原材料的量进行精确控制的部分。主要包括对流量进行控制的质量流量控制计(MFC),对压力进行控制的压力控制器(PC)和对金属有机源实现温度控制的水浴恒温槽(Thor·mal Bath)。
(2)反应室:
反应室是MOCVD生长系统的核心组成部分,反应室的设计对生长的效果有至关重要的影响。不同的MOCVD设备的生产厂家对反应室的设计也有所不同。但是,最终的目的是相同的,即避免在反应室中出现离壁射流和湍流的存在,保证只存在层流,从而实现在反应室内的气流和温度的均匀分布,有利于大面积均匀生长。
3)加热系统:
MOCVD系统中衬底的加热方式主要有三种:射频加热,红外辐射加热和电阻加热。在射频加热方式中,石墨的基座被射频线圈通过诱导耦合加热。这种加热形式在大型的反应室中经常采用,但是通常系统过于复杂。为了避免系统的复杂性,在稍小的反应室中,通常采用红外辐射加热方式。卤钨灯产生的热能被转化为红外辐射能,石墨的基座吸收这种辐射能并将其转化回热能。在电阻加热方式中,热能是由通过金属基座中的电流流动来提供的。
(4)尾气处理系统:
由于MOCVD系统中所采用的大多数源均易燃易爆,雨其中的氢化物源又有剧毒,因此,必须对反应过后的尾气进行处理。通常采用的处理方式是将尾气先通过微粒过滤器去除其中的微粒(如P等)后,再将其通入气体洗涤器(Scrubber)采用解毒溶液进行解毒。另外一种解毒的方式是采用燃烧室。在燃烧室中包括一个高温炉,可以在900~1 000℃下,将尾气中的物质进行热解和氧化,从而实现无害化。反应生成的产物被淀积在石英管的内壁上,可以很容易去除。
二、 “双招双引” 签约项目(200项)
序号(701-900) 项目名称 (备注)
701 联东U谷· 中国算谷未来智造中心(总建筑面积24万平方米)
702 山东鑫方盛电子商务有限公司新建工业品互联网电商产业总部项目(总建筑面积8万平方米, 年仓储能力80万立方米)
703 每日优鲜总部产业园项目 (总建筑面积33万平方米)
704 青岛人工智能产业集聚区启动区二期项目(总建筑面积17.61万平方米)
705 中农钢铁(广东) 有限公司中钢智慧谷项目(总建筑32万平方米)
706 青岛迷姆公司迷姆 科技 新零售项目(总建筑面积2.5万平方米)
707 淄博芯材集成电路有限责任公司集成电路封装载板项目(年产65万张集成电路封装载板)
708 电科北方半导体 科技 (山东) 有限公司集成电路材料产业基地项目(年产氮化铝基板200万片、 异形陶瓷300万件、 金属化陶瓷230万件等)
709 思玥投资(海南) 有限公司年产6.7亿Wh电动工具用锂离子动力电池项目(年产6.7亿Wh电动工具用锂离子动力电池)
710 欣安创能年产1GWH锂离子电池生产项目(年产能1GWH锂离子电池)
711 山东智佳浩诚精密工业有限公司浩诚智能终端产业园项目(年产贴片产品约7000万套、 注塑产品约5000万套)
712 元宝控股投资(深圳) 集团有限公司分布式存储(IDC) 智能数据云仓建设项目(总建筑面积20万平方米, 含监管仓4万平方米, 周转仓16万平方米)
713 山东优色夫通信技术有限公司5G数字医疗通信系统芯片项目暨新一代超级共享充电终端项目(年产10万台套新一代超级智能充电终端)
714 威海运十公司集成电路贴片封装项目(年产集成电路板943800万点)
715 威海合众创亚环保 科技 有限公司威斯打印机配套项目(年产打印机用配套产品600万套)
716 钛本电子 科技 (山东) 有限公司智能终端触摸屏生产项目(年生产触摸屏3000万片)
717 日照鲁光电子 科技 有限公司5G通信半导体封测产业园项目(年生产30亿只车规级二三极管)
718 日照市赛立科电子材料有限公司新型电子元器件及电子专用材料研发制造项目(年产有机硅电子包封料1800吨)
719 中慧(临沂) 智能 科技 有限公司年产300万台(套) 智能终端设备项目(年产北斗定位智能终端、 手持平板电脑等智能终端设备300万台(套) )
720 帝欣光电 科技 (山东) 有限公司智能装备及微电机生产制造项目(年产智能穿戴设备200万台、 微电机300万个)
721 香港顶米 科技 集团股份有限公司半导体封测及智能终端产品项目(年产1亿片以上电源管理芯片和WIFI芯片模块及1000万台以上消费电子产品)
722 山东乾元半导体 科技 有限公司年产36亿个LED芯片项目(年产300亿颗的MiniLED芯片)
723 泽乐电子 科技 (山东) 有限公司年产3000万支LED灯及SMT贴片组装项目(年产3000万支LED灯及SMT贴片)
724 山东康莱米 科技 有限公司康莱米消费电子产品项目(年产平板电脑、 笔记本电脑等100余万套)
725 济南智造云谷机电有限公司智造云谷产业园(总建筑面积14万平方米)
726 济阳· 海天智慧 健康 产业园 (总建筑面积24万平方米)
727 中车四方智汇港一期 (总建筑面积17.9万平方米)
728 杭萧钢构(山东) 有限公司杭萧智能化生产基地新建项目(年产15万吨装配式钢构件)
729 青岛盛强达精密机械有限公司精密机械零部件制造项目(年产3000件工程机械零部件)
730 青岛神硕 科技 有限公司休闲雪地车及重卡零部件项目(年产休闲雪地车600台, 卡车车桥及变速箱38000套)
731 安徽拓宝增材制造 科技 有限公司金属3D打印设备制造项目(年产金属3D打印机产品100套)
732 山东合利工程机械有限公司徐工集团智能制造配套产业园项目(年产1万台1.8吨装载机整车及3万吨铲运结构件)
733 屋联智能(山东) 集团股份有限公司屋联智能制造项目(年产智能过滤器100万台、 智能试压仪10万套、 智能测电仪10万套等)
734 山东艾科华创能源 科技 有限公司SUNBOT智能光伏清扫机器人项目(年产智能光伏组件清扫机器人66000台(套) )
735 匡达石油钻(修) 井作业智能装备智造中心项目(总建筑面积5.2万平方米)
736 同博石油仪器仪表与机电设备智能制造项目(年产石油仪器仪表与设备1000台套)
737 烟台新浩阳轴承有限公司高端研发总装中心(年产3-8米风电主轴约1000台套)
738 招远市环耀智佳 科技 有限公司1000万套/年智能制造一期项目(年产智能手机200万部、 平板电脑150万台等)
739 东方名瑞高端智能化巧克力包装设备生产项目(年产80套智能化全自动巧克力包装机)
740 山东乾龙 汽车 科技 有限公司乾龙专用车项目(年产环卫类洒水车、 吸污车等专用车5000台)
741 尚金精密机械年加工50000套精密数控转台项目(年产50000套精密数控转台)
742 山东紫麟 汽车 配件制造有限公司新能源 汽车 零部件生产项目(总建筑面积2.35万平方米)
743 北京学能通 科技 集团有限公司智能教育装备制造项目(年产智能教育装备20000套)
744 山东高创数控年产5000套数控自动化切割设备生产项目(年产5000套数控自动化切割设备)
745 山东鸿岳重工 科技 有限公司高端精密传动系统零部件加工项目(年产传动系统零部件30万套)
746 泰安屹诚环保 科技 有限公司环保节能设备生产建设项目(年产脱硫反应器等300套)
747 特变电工山东鲁能泰山电缆有限公司百亿线缆数字化产业园项目(总建筑面积19.77万平方米)
748 山东威尔汉姆公司威海南海新区深海油气耐蚀双金属复合管材生产项目(年产双金属复合管道约15000米)
749 威海万思特机械公司滑块、 导轨原材料加工项目(年加工原材料滑块168万套、 导轨40万套)
750 山东极客云人工智能 科技 有限公司便携式系留滞空无人机系统研发基地项目(年产便携式系留滞空无人机6万台)
751 华世力高端智能装备制造、 智能机器人生产线制造项目(年产智能玻璃切割流水线600台套、 智能岩板玻璃磨边机连线500条等)
752 山东巨辉 汽车 零部件有限公司日照浩然 汽车 零部件冲压项目(年产200套 汽车 模具以及60万台份冲压件)
753 山东旺科机械设备有限公司精密机械配件制造技改项目(年综合能耗下降648.64吨标准煤)
754 昊坤数控机械(山东) 有限公司新建年产5000台数控智能排屑机、 数控机床及机床零部件与附件项目(年产5000台数控智能排屑机、 数控机床及零部件与附件)
755 中博北方轴承 科技 (聊城) 有限公司年产6.3万吨轴承及配件项目(年产6.3万吨轴承及配件)
756 冠县凯磊轴承有限公司年加工350万件轴承套圈项目(年加工350万件轴承套圈)
757 山东固高智能 科技 有限公司年产1000万套轴承零部件装配项目(年产轴承零部件1000万套)
758 山东迪博石油机械有限公司年产4万套石油套管扶正器及井下工具项目(年产4万套石油套管扶正器及井下工具)
759 磐驰工科(菏泽) 智能制造有限公司年产500台(套) 文旅设备、 环保设备及资源处理利用综合利用中心项目(年产500台(套) 文旅设备、 环保设备)
760 山东卓力达塑业有限公司年产300万件 汽车 新能源塑料零部件项目(年产300万件 汽车 新能源塑料零部件)
761 山东博润生态 科技 有限公司环保智能处理设备项目(年产垃圾渗滤液“全量化” 处理设备400台套)
762 金翌新能源 科技 (枣庄) 有限公司新能源电动摩托车项目(年产新能源电动摩托车50万辆)
763 山东遥米新能源 科技 有限公司2GWH磷酸铁锂电池PACK项目(年产29万组磷酸铁锂电池组)
764 中城投新能源高新产业园项目 (总建筑面积6万平方米)
765 东营泰普新能源有限公司年产1GW高效光伏组件项目(年产高效光伏组件1.0GW)
766 莱州市昊阳新能源有限公司土山镇240兆瓦光伏发电项目(总装机容量240MW)
767 国电高密100MW农牧业综合利用分布式光伏电站项目(总装机容量100兆瓦)
768 京投150MW农光一体化发电项目 (总装机容量150兆瓦)
769 扬光新能源50MW光伏发电项目 (总装机容量50兆瓦)
770 微山博思储能 科技 有限公司济宁市微山县储能调峰电站示范项目(建设100MW/200MWh储能调峰电站一座)
771 大唐(威海) 清洁能源有限公司文登区360MW分布式光伏项目(总装机容量360兆瓦)
772 临沂绿源物流有限公司智能充换电站项目(总建筑面积20.25平方米, 建设60座换电站)
773 山东易电行新能源 科技 有限公司聚合物锂离子电池生产制造项目(年产50万组电动摩托车锂离子电池组)
774 德州聚盛新能源 科技 有限公司100MW农光互补光伏电站项目(总装机容量100兆瓦)
775 三峡新能源庆云储能电站示范项目(建设300MW/600MWh储能电站及配套设施)
776 禹城市运风150MW光伏发电项目(一期80MW)
(总装机容量150兆瓦)
777 山东钟振伟旺新能源股份有限公司新能源电动 汽车 充电桩项目(年产6000套充电桩)
778 阳谷县电投新能源有限公司阳谷县国电投65MW农光互补光伏发电项目(总装机容量65兆瓦)
779 斯贝兰德有限公司年产电力质量高低压智能无功补偿装置1000套、 滤波器装置1000套等生产项目(年产智能无功补偿装置1000套、 滤波器装置1000套等)
780 山东礼德新能源 科技 有限公司年产32万吨光伏新能源发电系统铝合金材料项目(年产光伏新能源发电系统铝合金材料32万吨)
781 滨州浩宇新能源有限公司滨州北海海上风电检测中心项目(年检测10MW以下风力发电机60台/次)
782 山东华电鄄城100MW农光互补光伏发电项目(总装机容量100兆瓦)
783 青岛恒业微晶新材料 科技 有限公司新型分子筛项目(年产新型分子筛产品20万吨)
784 山东英朗环保 科技 有限公司10万吨PET深加工和框类生产项目(总建筑面积8.3万平方米)
785 山东旭正新材料有限公司年产十六万吨聚氨酯和表面活性剂项目(年产聚氨酯和表面活性剂16万吨)
786 山东中泰天盟新材料有限公司11500吨/年环保制冷剂混配生产分装项目(年产环保制冷剂11500吨)
787 山东瑞丰高分子材料股份有限公司6万吨/年生物可降解材料PBAT智能扩产项目(年产6万吨生物可降解材料PBAT)
788 中新泰合(沂源) 电子材料有限公司半导体芯片封装用模塑料项目(年产8000吨半导体芯片封装用模塑料)
789 山东中福致为新材料有限公司年产5000吨羟乙基纤维素项目(年产5000吨羟乙基纤维素)
790 华钿(山东) 科技 有限公司高端新型硅材料产业链项目(年产高硅耐火材料46万吨、 新型环保装饰材料70万平方米等)
791 山东广垠廸凯凯新材料有限公司5G通讯及医用氧化锆新材料项目(年产纳米氧化锆通讯及医用材料2000吨,通讯及医用氧化锆制品500吨)
792 山东海鸣新材料有限公司改性尼龙项目(年产5万吨改性尼龙)
793 先导薄膜材料(淄博) 有限公司新型显示用ITO靶材及其他薄膜材料产业化项目(年产靶材系列产品2175吨及其他薄膜材料)
794 奥瑞金(枣庄) 包装有限公司易拉罐生产配套项目(一期)
(年产易拉罐9亿只)
795 汉特蓝沃奇纳米自洁板项目 (年产300万平方米纳米自洁板)
796 山东宏景苏博瑞有限公司年产2.5万吨环氧树脂项目(年产20000吨电工环氧浇注料、 5000吨改性胺类固化剂)
797 七真(东营) 新材料 科技 有限公司环保新材料整体设计及生产项目(年产木塑复合材料3万吨)
798 中芳新材料有限公司年产5000吨芳砜纶项目(年产芳砜纶5000吨)
799 山东丽兴新材料 科技 有限公司2万吨/年无碳热敏纸、 复印纸加工项目(年产2万吨无碳热敏纸、 复印纸)
800 招远市辰丰环保建材有限公司再生资源综合利用一体化项目(年处理建筑垃圾200万吨, 年产再生骨料250万吨、 PC构件10万立方米等)
801 中节能万润股份有限公司研发中心项目(总建筑面积3.2万平方米)
802 美瑞新材料股份有限公司年产20万吨d性体一体化项目(年产20万吨d性体)
803 山东大耀特种材料公司年产6.6万吨高性能聚乙烯功能材料项目(年产高性能聚乙烯功能材料6.6万吨)
804 潍坊鑫领门业集团年加工100万m2高端智能系统门窗项目(年产100万平方米高端智能系统门窗)
805 山东汉峰新材料 科技 有限公司新建年产17.5万吨磷系新材料、 10吨氘代试剂及850吨电子级新材料项目(年产17.5万吨磷系新材料、 10吨氘代试剂及850吨电子级新材料)
806 山东汶峰新材料 科技 有限公司11800吨/年新型电解质盐建设项目(年产新型电解质盐11800吨)
807 山东孟子湖置业有限公司泗水·磐泰新 科技 智造园(总建筑面积28万平方米)
808 山东荣新新材料 科技 有限公司5万吨/年绿色环保涂料项目(年产 汽车 专用涂料产品5万吨)
809 山东书豪建材 科技 有限公司石墨烯装配式建筑材料研发制造基地建设项目(年产装配式石墨烯外墙保温材料200万立方米)
810 山东航盛新能源材料有限公司年产2万吨锂电池电解液项目(年产锂电池电解液达到20000吨)
811 山东云峰莫干山家居有限公司年产30万套智能化全屋定制家居项目(年产智能化家居产品30万台套)
812 山东利信新材料有限公司机械零部件加工项目(年加工50000吨铝合金高端精密机械零部件)
813 山东安天新材料 科技 有限公司年产10万套柴油发动机排气后处理装置项目(年产10万套柴油发动机排气后处理装置)
814 中盛(临清) 节能 科技 有限公司新型轻质建筑材料项目(年产90万平方米建筑保温ESP板、 50万立方米轻质外墙保温一体板)
815 山东港瑞新材料有限公司节能环保钢结构装配式建筑材料智能智造项目(年产20万吨节能环保钢结构装配式建筑材料)
816 山东富泉新材料有限公司年产120万方金属装饰板深加工项目(年产金属装饰板120万方)
817 鲁北超能新材料产业(山东) 有限公司年产5000吨电池级碳酸亚乙烯酯、 5000吨电池级氟代碳酸乙烯酯等项目(年产5000吨电池级碳酸亚乙烯酯、 5000吨电池级氟代碳酸乙烯酯等)
818 山东泰和环保建材有限公司综合利用工业副产石膏年产1亿平方米纸面石膏板及配套项目(年产1亿平方米纸面石膏板)
819 山东绿脉铝业 科技 有限公司36万吨/年氟铝新材料项目(一期)
(年产高纯氟化铝32000吨, 副产氯化铵12000吨和氯化钠23000吨)
820 山东斯源新材料年产10万吨生物降解新材料(年产10万吨PBS/PBAT)
821 无棣瑞峰纸业有限公司年产11.68万吨高档生活用纸项目(年产11.68万吨高档生活用纸)
822 山东方寸包装有限公司年产6000万条集装袋项目(年产集装袋6000万条、 集装袋布60000吨)
823 盛天 体育 年产800万平方米新型高分子材料项目(年产800万平方米新型高分子材料)
824 菏泽天源电子 科技 股份有限公司天源 科技 FPC用电磁屏蔽膜新材料项目(总建筑面积2.5万平方米)
825 山东渤中海上风电产业基地基础设施配套项目(年产海上风电设备约150台套)
826 山东民达物流有限公司东营港25万吨级原油进口泊位及配套工程(年设计吞吐量3493万吨)
827 海迪莎(山东) 医药 科技 有限公司海洋医药及功能性 健康 饮品生产项目(年产海洋医药及功能性 健康 产品20000套)
828 日照远海冷链物流有限公司综合保税区冷链仓储物流项目(总建筑面积3.5万平方米, 冷库规模4.9万吨)
829 银丰生物工程集团有限公司银丰生物 科技 园(二期) 项目(总建筑面积3.71万平方米)
830 中健桃李春风国际 健康 城 (总建筑面积90万平方米)
831 天美生物年产1000万支医美类医疗器械项目(年产1000万支医美类医疗器械)
832 山东中晟医疗器械 科技 有限公司宫颈癌检测仪项目(年产宫颈癌检测仪2000台套)
833 山东欧科食品检测中心项目 (总建筑面积3.56万平方米, 食品检测中心实验室5156.8平方米)
834 海木动物保健品(山东) 有限公司海木动物生物制品GMP产业基地项目(年产细胞悬浮培养灭活疫苗及细菌灭活疫苗6500万头份)
835 石药集团百克(山东) 生物制药有限公司创新药产业园项目(总建筑面积3万平方米)
836 青州市庙子镇桃源居康养项目 (养老公寓面积约1.68万平方米)
837 山东昊森医药产业园有限公司医疗器械生产及智能仓储设备项目(年产医疗诊断设备20000台, 监护设备30000余套, 治疗设备10000余套等)
838 曲阜市药用辅料有限公司药用辅料加工项目(年产20000吨药用糊精、 40000吨微晶纤维素、 10000吨硬脂酸镁)
839 新泰广和生物年产1000吨新兴甜味剂项目(年产1000吨新型甜味剂三氯蔗糖)
840 魅康丽养(山东) 产业园开发有限公司年产5000吨冻干食品及康养用品生产项目(年产5000吨冻干食品及康养用品)
841 科泰(山东) 健康 营养有限公司德州运河特医食品研发生产项目(年产特医食品10000吨)
842 山东天利和生物工程有限公司生物制品建设项目(年产30000支兽用生物制剂)
843 山东盛之源制药有限公司国际化高端医用制药项目(年产5000万盒抗心肌缺血药、 光动力药物、 多发性硬化症等特色药物)
844 和瑞东35800t/a钛(锆) 酸酯、2600t/a磷酸酯、 700t/a柠檬酸酯生产项目(年产35800吨钛(锆) 酸酯、 2600吨磷酸酯、 700吨柠檬酸酯)
845 山东博尔纳生物 科技 有限公司30000t/a顺酐联产30000t/a羟基丁二酸生产线建设项目(年产30000吨顺酐、 30000吨羟基丁二酸)
846 开来新材料(山东) 有限公司年产11.72万吨功能性新材料项目(年产酶制剂产品1.8万吨, 功能性后整理纺织助剂产品2.7万吨, 医药中间体产品4.22万吨等)
847 莫雷特(山东) 润滑 科技 有限公司年产20万吨高端特种润滑油、2万吨防冻液、 0.8万吨润滑脂、0.2万吨炼油助剂项目(年产20万吨高端特种润滑油、 2万吨防冻液、 0.8万吨润滑脂、 0.2万吨炼油助剂)
848 山东德俊新材料10万吨/年医用荧光剂、 9000吨/年季铵盐、 500吨/年对羟基苯乙酮及3000吨/年表面活性剂复配产品建设项目(年产10万吨医用荧光剂、 9000吨季铵盐等)
849 爱洛玛化学(济宁) 有限公司3360吨/年高端精细化学品生产项目(年产高端精细化学品3360吨)
850 山东德威涂料有限公司生产研发基地项目(总建筑面积5.6万平方米)
851 山东德宜新材料有限公司年产2.5万吨二氟一氯乙烷、 1.5万吨偏氟乙烯单体和1.5万吨聚偏氟乙烯搬迁升级改造项目(年产10000吨锂电池用聚偏氟乙烯, 5000吨光伏背板及氟涂料用聚偏氟乙烯)
852 山东神州调味食品有限公司扩建年产3万吨果蔬净菜及5万吨复合调味品中餐标准化项目(年产3万吨果蔬净菜及5万吨复合调味品)
853 山东果山园果业有限公司年加工50000吨鲜水果和20000吨水果罐头系列产品项目(年产20000吨水果罐头系列产品和50000吨鲜水果加工)
854 中朗现代渔业产业示范园项目 (总建筑面积27.6万平方米)
855 山东正裕牧业有限公司正裕农牧生态产业园建设项目(年出栏种猪10万头)
856 小麦铺 科技 研发销售总部及快消品生态产业链项目(总建筑面积5万平方米)
857 昌邑优然牧业有限责任公司1.8万头奶牛高产示范牧场项目(年产优质原料奶120000吨)
858 驰农生态农业 科技 发展(山东)
集团有限公司刘家峪乡村振兴示范村(驰农生态有机庄园) 项目(总建筑面积11.7万平方米)
859 临沂川发中恒能环境治理有限公司临沂市沂南县有机废弃物资源化利用项目(总建筑面积1.3万平方米)
860 山东恒发源肉制品有限公司年产5万吨速冻调理肉制品项目(年产5万吨速冻调理肉制品)
861 嘉仓(山东) 冷链物流有限公司冷链物流中心项目(总建筑面积46.35万平方米, 20万吨智能化冷库集群)
862 德州地福来生物 科技 有限公司藻类生物 科技 综合研发中心项目(藻类生物 科技 研发和微藻液态生物肥的生产)
863 山东傲农食品有限公司年屠宰加工100万头生猪、 1.5万吨肉制品及冷链物流项目(年屠宰加工100万头生猪、 生产1.5万吨肉制品)
864 蒲姑(山东) 农业 科技 发展有限公司农产品智能物联冷链仓储、交易及配送项目(一次性最大库容量6万吨, 年周转量15万吨)
865 曹县嘬咪宠物食品有限公司年产量6000吨宠物食品项目(年产6000吨宠物食品)
866 菏泽海鼎饲料 科技 有限公司新建三期项目(年产配合饲料10万吨)
867 青岛融创西发文化发展有限公司青岛影视外景地项目二期(总建筑面积6.8万平方米)
868 山东超越轻工制品有限公司装饰品及装饰家具创意设计、 生产项目(总建筑面积13万平方米)
869 机械工业出版社泰安物流产业园及数码印刷基地建设工程项目(总建筑面积4.4万平方米)
870 威海天和金属制品有限公司天和艺术品创意设计与加工制作中心项目(总建筑面积4万平方米)
871 山东京临包装印刷有限公司年产量3亿套高档文化包装材料项目(年产3亿套高档文化包装材料)
872 济南万达地产开发有限公司章丘万达广场项目(总建面积35万平方米, 集中式购物中心9万平方米)
873 济南远大房地产开发有限公司远大购物广场项目(总建筑面积约110万平方米)
874 莱西市财通投资发展有限公司王府井购物中心商业项目(总建筑面积9万平方米)
875 青岛豪门帝宝文旅有限公司台湾之星项目(总建筑面积34.5万平方米)
876 青岛宏东置业有限公司莱西万达广场项目(总建筑面积14.1万平方米)
877 烟台恒睿高新吾悦广场项目 (总建筑面积11.95万平方米)
878 山东众鑫市场管理运营有限公司济宁市第一粮仓片区城市更新项目(总建筑面积10万平方米)
879 山东汉武文化 旅游 开发有限公司汉武汤泉建设项目(总建筑面积3万平方米)
880 日照新力集团有限公司华美大厦(丽都国际大酒店) 项目(总建筑面积4.7万平方米)
881 日照盛博港实业有限公司星海广场项目(总建筑面积2.7万平方米)
882 庆云伟光文化 旅游 开发有限公司新建祥云文旅综合体建设项目(总建筑面积9万平方米)
883 天齐庙商城改造提升“天齐庙·锦里” 项目(商业步行街改造2.3万平方米)
884 济南泉康智慧金融物流园项目 (总建筑面积9.8万平方米)
885 青岛华通联东致远实业有限公司华通联东· 青岛临空国际智造港(一期规划建筑面积12万平方米)
886 青岛佳海产业园投资运营有限公司青岛佳海临空产业园项目(总建筑面积约20万平方米)
887 龙口市智造置业有限公司幸福连城· 龙口智能制造基地(总建筑面积10万平方米)
888 烟台联东金波实业有限公司联东U谷· 福山 健康 科技 谷项目(总建筑面积7.9万平方米)
889 烟台东源投资有限公司烟台东源产业园(总建筑面积5.4万平方米)
890 潍坊锦利产业园建设运营有限公司中南高科· 鸢都智谷产业园项目二期(总建筑面积6.2万平方米)
891 单县万汇 科技 有限公司万汇智造城项目(总建筑面积14万平方米)
892 兖矿鲁南化工有限公司鲁南储配煤基地一期项目(总建筑面积5.3万平方米, 封闭式煤场储煤能力50万吨)
893 山东中燃宝港能源发展有限公司液化烃库区项目(年周转量189万吨)
894 中海油集团东营原油储备项目 (原油总库容500万立方米)
895 招远市保久环境资源有限责任公司300万吨/年矿山废弃资源综合利用项目(年处理矿山废弃资源300万吨)
896 中传拉链年产21000吨拉链头智能制造技改项目(年产2.1万吨高档拉链头)
897 山东卓越高新材料 科技 有限公司年产300kt煅烧石油焦、 200kt高新碳材、 100kt铸造材料及余热综合利用项目(年产300kt煅烧石油焦、 200kt高新碳材、100kt铸造材料)
898 山东省柏宏木业有限公司年产20万立方米胶合板及50万套家具项目(年产20万立方米胶合板、 50万套家具)
899 滨州万龙中为环保 科技 有限公司12万吨/年废旧轮胎资源化综合利用项目(年处理废旧轮胎12万吨)
900 山东古德耐芙家居有限公司年产4万套全屋智能家具建设项目(总建筑面积4.3万平方米)
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