半导体封装工艺过程中用到高纯氮气,高纯氢气,二氧化碳和压缩空气主要有什么用

半导体封装工艺过程中用到高纯氮气,高纯氢气,二氧化碳和压缩空气主要有什么用,第1张

氮气是保护气体,防止工艺过程中发生氧化,主要是在合金烧结时或者高温导热胶固化时应用,氢气有还原性,可以使氧化层还原,但是氢气有一定危险性,我知道用得较多的是氮氢混合气体,这样安全些,二氧化碳,这个不了解压缩空气,主要是用在工艺过程中,比如工作台的吸附,一些设备必须有压空才能工作。了解得不多,希望有帮助

需要。

通入氮气能把烘箱内空气赶出,这样就可以在无氧条件下进行干燥、固化、除湿等,避免空气中的氧气破会产品,影响半导体品质。

可用鼓风式充氮气,一般需要箱体满焊确保氮气损耗快,在烘箱上配一个氮气快插接口,用于快速连接氮气管路,如果避免氮气快插接口有漏气问题,氮气快插接口外径8,氮气入口处有蓝色密胶圈,管子插进去后把密胶圈往外拉一下确保密封。


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