请问PVD镀膜机中氩气的作用是什么？

AR+2是一种惰性气体（类似于氦气，氖气，氙气。。都属于惰性气体里面的），PVD（物理气相沉积）中，它是作为工作气体使用的，他的作用主要是用于PVD中的辉光（清洗），沉膜时的工作气体等。因为它是惰性家族中的气体这一，活性没有其它（如乙炔，甲烷，氮气，氧气）气体强；生产中，用氩气作为工作气体的主要是从经济上考量，成本相对于其它惰性气体是最便宜的，其次是氦气（在PVD或真空中），它用于检漏。本人从事PVD6年了，希望对你有帮助。给哥个最佳答案吧，第一次上知道来回答，谢谢。

氮气是保护气体，防止工艺过程中发生氧化，主要是在合金烧结时或者高温导热胶固化时应用，氢气有还原性，可以使氧化层还原，但是氢气有一定危险性，我知道用得较多的是氮氢混合气体，这样安全些，二氧化碳，这个不了解压缩空气，主要是用在工艺过程中，比如工作台的吸附，一些设备必须有压空才能工作。了解得不多，希望有帮助

做Si集成电路的fab里，你列举的这些都用的到。

硅烷和笑气，长氧化硅时候用。

HCL:清洗wafer的时候用。

CF4:蚀刻Si和氧化硅的时候用。

SF6:蚀刻Si的时候用。

其他还有BCl3, Cl2, Ar差不多都是蚀刻的使用。

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