光学轮廓测量仪采用白光轴向色差原理(性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌,台阶高度,给MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。
测量范围广,可测透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)。
测量参数:
1.垂直测量范围:27mm
2.垂直分辨率:<2nm
3.扫描速度:1m/s
4.横向分辨率:5nm
5.可视区域:400*600mm
轮廓仪主要功能是测量零件表面的轮廓形状,比如:精密零件中的沟槽的槽深、槽宽、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圆柱表面素线的直线度等参数。总之,轮廓仪反映的是零件的宏观轮廓。
轮廓仪一般都是测量一些小型工件,测量精度较高。
三坐标也是可以测量轮廓尺寸的,但是三坐标一般比较占地方,而且测量精度没有轮廓仪这么高,所以相对来说,三坐标测大型工件居多,因此三坐标出现了大型龙门式和关节臂式,关节臂三坐标加装扫描测量头可用于逆向工程。
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