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电子工业专用设备

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贡献维护者 wujinmiao123 

《电子工业专用设备》创刊于1971年，是由中国电子科技集团公司主管，中国电子科技集团公司第四十五研究所主办的学术期刊[1]。

据《电子工业专用设备》2020年第3期期刊内页显示，《电子工业专用设备》指导委员会有委员13人，编委会有编委11人，编辑部有执行编辑2人、美术编辑1人[1]。

据2020年8月11日中国知网显示，《电子工业专用设备》共出版文献5353篇、总被下载531190次、总被引11388次，（2019版）复合影响因子为0.191、（2019版）综合影响因子为0.080[2]。据2020年8月11日万方数据知识服务平台显示，《电子工业专用设备》共载文3627篇、基金论文量为153篇、被引量为9954次、下载量为106087次，2018年影响因子为0.2[3]。

中文名

电子工业专用设备

外文名

Equipment for Electronic Products Manufacturing

语种

中文

类别

信息科技

主管单位

中国电子科技集团公司

快速

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办刊条件办刊成果文化传统现任领导

办刊历史

1971年，《半导体设备》创刊。

1986年，更名为《电子工业专用设备》，刊期为季刊[4]。

2003年，该刊刊期由季刊改为双月刊。

2004年，该刊刊期由双月刊改为月刊。

2014年12月，该刊成为中国原国家新闻出版广电总局第一批认定学术期刊[5]。

办刊条件

栏目方向

报道内容

《电子工业专用设备》主要报道中国国内外半导体设备，反映微电子制造前、后道的新工艺、新设备在科研、技术工程和应用方面的发展趋势与成就[6]。

主要栏目

《电子工业专用设备》主要有趋势与展望、专题报道、IC前沿制程、封装与测试、行业快讯、新技术应用、企业介绍等栏目[3]。

人员编制

指导委员会

据《电子工业专用设备》2020年第3期期刊内页显示，《电子工业专用设备》指导委员会委员有13人[1]。

当保护膜贴附完成后, 若于贴膜面产生气泡, 则容易导致元件的损伤报废或是影响后制程的品质. 如保护膜/保护胶剥离或者打印内容不完整。

高端产品用ELT真空压力除泡系统. 先将保护膜预热之后, 于真空环境下让保护胶平整的贴附于物件表面, 再以加压加热方式烘烤, 完成品表面无气泡发生。

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