目前国内3D轮廓测量仪主要品牌是中图仪器,SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
国外品牌主要是ZYGO和Bruker
轮廓仪,顾名思义,是测量产品表面轮廓尺寸的仪器,根据工作原理的不同,可以分为接触式轮廓仪和非接触式轮廓(光学轮廓仪)。
1.接触式轮廓仪
接触式轮廓仪是通过触针在被测物体表面滑过获取表面轮廓参数,如角度处理(坐标角度,与Y坐标的夹角,两直线夹角)、圆处理(圆弧半径,圆心到圆心距离,圆心到直线的距离,交点到圆心的距离,直线到切点的距离)、点线处理(两直线交点,交点到直线距离,交点与交点距离,交点到圆心的距离)、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟曲率半径、沟边距、沟心距、轮廓度、水平距离等形状参数。代表型号为SJ57系列。
2.非接触式轮廓仪(光学轮廓仪)
非接触式轮廓仪(光学轮廓仪)是以白光干涉为原理制成的一款高精度微观形貌测量仪器,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。代表型号为Super View W1系列。
一、陕西威尔。陕西威尔量仪是国内最大最专业的圆度仪、圆柱度仪、粗糙度仪、轮廓仪、活塞测量仪的生产厂家,威尔量仪致力成为国内最专业的精密测量解决方案提供商。威尔量仪的精密测量产品应用于机械行业、汽配行业轮廓仪、轴承行业、电机行业、及大专院校。由各应用行业技术精英组成的顾问团队,可按客户具体的测量需求量身定制非标测量设备。
二、上海泰勒。
上海泰勒精密仪器制造有限公司是上海市科委认定的高新技术企业,主导产品国内市场占有率领先,并远销欧亚。拉美多个国家。
三、广州威而信。
广州威而信是一家专门从事圆柱度仪、圆度仪、轮廓仪、活塞形线测量仪、凸轮轴/曲轴测量仪、超精密测角仪及其测量软件的研发、生产、销售和服务的中外合资企业。MMD-R系列轮廓仪圆弧半径测量精度好于±1.2μm,国内精度最高,是理想的进口轮廓仪替代产品,拥有超强性价比。
四、北京奥地利。
奥地利alicona轮廓仪,国际品牌的轮廓仪,具竞争力的粗糙度轮廓测量仪,功能强大,性价比高。
五、中图仪器。
深圳市中图仪器科技有限公司是国家级高新技术企业和软件企业,致力于精密计量、检测仪器设备的研发、生产和销售。
六、RTEC。
轮廓仪生产厂家RTE提供了高水平,专业化的高新技术产品及高质量的售后服务轮廓仪首选RTEC。轮廓仪特点:共聚焦三维表面形貌仪具有光学形貌上最高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机,空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的最佳配置。
七、广州广精。
广州广精轮廓仪制造厂-轮廓仪测量专家。研发生产轮廓仪。现货供应圆度仪,圆柱度仪,轮廓仪,粗糙度仪等。广州市广精精密仪器有限公司是目前国内最专业的几何量计量、形位公差类超精密仪器生产制造厂家之一。
八、上海泰明。
上海泰明轮廓仪制造厂-上海第二光学仪器厂转制企业。首家从事轮廓仪的研发生产。各类轮廓仪型号齐全满足客户对轮廓仪的不同需求。
九、上海阜力。
上海阜力测量设备有限公司提供一站式工业品检测的供应与采购,提供解决方案的优质供应商,轮廓仪提供长度几何量和金属力学检测一站式工业品检测。
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