1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

洁净车间装修有四大诀窍

1、在洁净厂房建筑布局中，厂房外通常设有圆形密封走廊。它提供了洁净区和外界之间的缓冲区。它有助于防止室外污染并且相对节能。厂房门窗内墙平整，无需安装窗框。应特别注意外窗的层数和结构，以密封空气中的水分，使污染颗粒不易从外部渗透。不同洁净度房间的门窗之间必须密封，以免因内外温差而结露。门窗材料应选用耐候性好、自然变形小、制造误差小、气密性好、造型简单、防尘、易清洁、无门框门槛的门窗材料。洁净工作场所的门窗应采用金属或金属涂层材料。另外，不要使用木门窗，以免长期受潮和滋生细菌。外墙开窗应与内墙平齐，窗框应倾斜或不留窗框，并采用两层固定窗，以减少能量损失。

洁净车间装修

2、地板平整、无缝、耐磨、耐腐蚀，静电不易积聚。易于清洁整个地板。设计中可采用原位水磨石地坪，石材直径为6-15mm。其中，分离棒要用铜棒隔开，不能用玻璃棒。目前主要采用环氧自流地坪。它是一种复合树脂地板。无溶剂、无毒、无味、无缝、自流平。是的。实现镜面装饰效果、无缝连接、耐油、耐酸、耐碱、耐盐化学溶剂。洁净车间装修具有抗静电、低发尘、耐磨、抗冲击等性能，但价格昂贵。多用于电子、医疗、血液制品的地面及其他要求高洁净度、美观、无尘、无菌的生产车间。自流环氧地坪的使用寿命为 1 毫米或更长，通常可以使用 6 年或更长时间。防潮层应放置在地板上的垫子下，以防止混凝土废物管线通过清洁区域。

洁净车间装修

3. 洁净车间装修

墙面应光滑、平整、无尘、耐腐蚀、色彩协调、易识别污染物。内墙涂料应涂上防霉、防静电、防眩光的材料。 ，并能经得起清洗和消毒。墙体与地面相交处的圆弧半径应为50mm，以减少灰尘堆积，便于清洁。交通走廊等脆弱区域的墙壁上应设置防撞护栏，防止装修材料因振动而落下灰尘。

4、洁净车间装修为保证房间的清洁，所有送风管道和灯具必须放置在技术夹层内。今天，大多数制药公司使用彩钢夹芯板来密封天花板。彩钢夹芯板具有重量轻、整体强度高、整体性高、发尘少等特点，更适合GMP生产车间。但是，固定吊顶必须与主体结构相连，不能与管件或管道支架混合使用。天花板和墙壁应连接顺畅。天花板和回风管道必须正确关闭。吊顶安装完成后，应进行灯光检查，确保没有间隙。根据工艺要求，维修通道一般需要设置在技术夹层上，以方便管道维修和更换管道。

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