至纯科技—立足高纯工艺，半导体清洗设备将迎增长

东吴证券发布投资研究报告，评级: 增持。

至纯 科技 (603690)

国内高纯工艺系统龙头，后发进军半导体清洗设备业务

至纯 科技 主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备业务，2019年收入分别为6.37亿元和0.82亿元，占比总收入的65%和8%。其中，半导体清洗设备业务，虽然起步稍晚，但市场空间大、增速快，是公司的最大业务亮点。2015-2019年公司收入由2.08亿元增长至9.86亿元，CAGR达48%，归母净利润从1770万增长至1.1亿，CAGR达57%。

2019年公司收购波汇 科技 进军光传感器市场，产业链向下延伸的同时也将与现有的泛半导体行业多项业务形成协同效应。

高纯工艺系统：国内龙头地位稳定，为公司提供稳定的现金流

高纯工艺系统是为下游企业提供整体解决方案的业务，属于特定行业的系统集成业务，是制造业企业新建厂房和生产线的固定资产投资的重要组成部分，约占其固定资产投资总额的5%-8%。

公司高纯工艺系统国内龙头地位逐步稳固，客户选择系统供应商非常谨慎、客户粘性高，预计未来可保持年化10%-20%的复合增长。目前行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，呈现出高等级市场集中度较高（主要为国外龙头）、低等级市场较为分散的竞争格局。公司董事长蒋渊曾是行业龙头美国凯耐第斯的中国区营销总监，团队技术积累深厚，帮助至纯的系统集成业务逐步实现进口替代。2012年-2019年高纯工艺系统收入从1.37亿元增长到6.37亿元，复合增速为25%，是为公司提供稳健增长现金流的业务板块。主要下游为医疗、光伏、半导体等，订单增长与下游客户的固定资产投资紧密相关。我们预计2020到2022年高纯工艺系统收入分别为8.6、10.4、11.4亿元。

进军半导体清洗设备领域，赛道好空间大，容易率先实现全面国产化

清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约5-6%，较光刻、刻蚀等核心设备价值量较低。同时技术门槛也较低，比较容易率先实现全面国产化，故市场空间大。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备的空间在15-20亿美元，到2023年清洗机的国产化率可达40%-50%，即国产设备的市场空间在40-70亿元。且预计未来12寸晶圆的槽式和单片式清洗设备将是市场的主要增量，其中单片式清洗机至纯有望成为少数几家具备核心技术的国内设备商。

公司的半导体清洗设备主要包括湿法槽式清洗设备（难度低）和单片式清洗设备（难度高）。2019年起开始批量出货，目前槽式清洗设备和单片式清洗设备均能应用于8寸及12寸的晶圆。公司凭借技术优势，迅速积累了中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户资源，2019年湿法工艺装备新增订单总额达1.7亿元（截止2019年末，累计已取得近40台正式订单，已完成近20台设备装机）。目前公司启东一期生产基地全面建成，已达到48套/年的产能，一二期共规划96套/年，公司于2019年12月发行可转债，募资3.56亿元投入槽式和单片式清洗设备的生产制造。项目预计在2022年达产，预计初步可贡献最高达9亿元的清洗机业务的收入规模。我们预计2020到2022年半导体设备收入分别为1.6、2.9、5.0亿元。

盈利预测与投资评级：

我们预计公司2020-2022年的净利润分别为1.5亿、2.1亿、2.8亿，当前股价对应动态PE分别为53倍、38倍、29倍，在可比公司中处于最低位置，我们看好公司半导体清洗设备业务的发展，在估值上存在提升空间，首次覆盖给予“增持”评级。

风险提示：半导体业务进展不及预期；毛利率波动风险；收购协同效应不及预期。

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等离子清洗机厂家如下：

1、佛山市华世通精密仪器有限公司。佛山市华世通精密仪器有限公司注册地址位于佛山市顺德区容桂扁滘居委会兴华东路6号冠天楼519号，经营范围包括光谱仪器及其配件、光电子产品、机电产品、计算机及其配件、等离子清洗设备。

2、上海茂虹等离子技术有限公司。上海茂虹等离子技术有限公司注册地址位于上海市嘉定区南翔镇德力西路88号，经营范围包括从事等离子技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务。

3、深圳市金徕技术有限公司。圳市金徕技术有限公司注册地址位于深圳市龙岗区横岗街道安良社区井下一巷13-1号经营范围包括等离子设备及相关零配件的维护；软件开发及销售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。

4、深圳市东信高科自动化设备有限公司。深圳市东信高科自动化设备有限公司注册地址位于深圳市宝安区福海街道展城社区荔园二路1号亿欧国际科技园A栋101，经营范围包括自动化设备的研发、等离子清洗设备的上门安装、销售与租赁。

5、邢台德延科技有限公司。邢台德延科技有限公司注册地址位于河北省邢台市襄都区泉南东大街紫晶天域观邸1号，经营范围包括通用设备、专用设备、家用电器、机械设备、仪器仪表、办公用品及设备、电气设备、五金产品、电子产品及配件、建材。

深圳市梵英超声技术有限公司是一家从事研发生产销售技术服务于一体的超声波及配套产业的多元化公司。企业的 经营范围为：一般经营项目是：工业自动控制系统装置制造；工业自动控制系统装置销售；机械电气 设备制造；生态环境材料销售；环境保护专用设备制造；环境保护专用设备销售；五金产品批发；五金 产品研发；电器辅件销售；家用电器零配件销售；家用电器研发；第一类医疗器械销售；电子产品销售； 信息技术咨询服务.（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动），许可经营项目是：第 一类医疗器械生产，货物进出口；技术进出口。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经 营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）五金产品制造；电器辅件制造；家用电器制 造；电子元器件与机电组件设备制造；电子元器件制造。

我们的优势

萃取乳化、彻底清洁工件死角，多种工件批量清洗，多功能清洁，减少污染，减少人工，缩短作业时 间，降低劳动强度，环保节能；专注化工机械行业多年、严格把控每步生产环节、厂家供应品质有保障、来 图来样加工定制。

应用领域

超声波清洗机广泛应用于表面喷涂处理行业、机械行业、电子行业、医疗行业、半导体行业、钟表首饰行业、光学 行业、纺织印染行业。其他行业等。

清洗原理

超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对 液体和污染物直接、间接的作用, 使污物层被分散、乳化、剥离 而达到清洗目的。

网页链接

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