1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?

1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?,第1张

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

照着洁净室的要求去做一些规范吧,

不一定要洁净室的全部设备的,

有些工厂有很好的设备,可是工人素质跟不上,室内环境还是很差,落尘度很高。

尽可能的隔离室内环境,使用空气交换过滤设备,地板上蜡,多使用粘尘布,工人使用防静电服装并尽量保持干净, *** 作动作要小,戴口罩头套,设备的锈迹和油漆沫都要小心清理。

另外产品在加工过程中一般都要吹等离子风扇,去静电的,产品带静电的话容易粘尘,影响很大。室内湿度也要控制。

“负离子空气净化器”这种东西是生活电器,功率很小,指标很低,是满足不了工业环境的需求的。工业中用的是那种设备类似于大空调。

楼主你要改善的话应该从成本低和易于实现的开始实行,直到目标达成为止。


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