2、潍坊工程职业学院简介
办学定位
目标定位:国际化、集团化、特色化
服务面向:对接潍坊机械装备、汽车制造、石化盐化、食品加工等传统优势产业,电子信息、智能装备等战略性新兴产业,现代物流、金融服务等现代服务业,航空装备、航空运输等战略性新兴产业。
培养目标:以工程类专业为特色,立足潍坊,面向全省全国,培养高素质技术技能人才
专业发展:培养高素质技术技能人才、提升专业服务产业能力
教学模式:实施“SQC”即一项专长(一生一专长)、两种素质(专业素质和科学文化素质)、三个能力(创业能力、创新能力、职业生涯规划能力)的一体化育人模式
办学条件
学院拥有三个校区、占地总面积1500余亩,建筑面积近32.4万平方米,设有13个系(院、部),全日制在校生近1.3万人。固定资产总额达到近6.3亿元,教学仪器设备8000多台(套)、总值近1.1亿元。数据中心拥有各种网络设备及服务器40多台(套),自主开发了建筑工程技术、食品营养与检测等10套专业实训模拟仿真资源库,建成了10个重点专业教学资源库。获得国家级教学成果二等奖1项、省级教学成果奖17项。建成校内实训中心12个、实验实训室145个,总面积近7.7万平方米。校外实习实训基地410家,其中紧密型实训基地198家。投资2.5亿元建成了现代学徒制教育实训中心、卡特彼勒培训中心、圣世鸿大食品工程实训中心、潍坊学前教育实训中心等8个生产性实训中心。
中央财政支持的实训基地2个
亚太地区最大的“卡特彼勒培训中心”
山东省规模最大、功能最全的“学前教育实训中心”
山东省教育信息化试点单位
连续举办4届全国气排球比赛
专业建设
坚持专业对接区域产业,减少专业大类覆盖面,突出工程类、优化文管类、稳定教育类,完善了适度超前、支持转型的专业调整优化机制,形成了“以工程类专业为核心,适应区域产业分布形态”的专业结构,共开设普通高职专业50个。围绕核心岗位的工作领域构建专业群核心课程,按照核心岗位涉及的工作内容确定课程内容,形成公共平台与多个专业方向彼此联系、相互渗透、共享开放的“底层共享,中层分立,高层互选”专业群课程体系,进行核心课程群的整体设计。
全国定向培养士官专业4个
中央财政支持重点专业2个
山东省品牌专业群2个、特色专业7个、技能型特色名校重点专业10个、省优质高职院校一流专业群4个、现代学徒制试点专业4个、“3+2”对口贯通分段培养本科试点专业2个
潍坊市特色品牌(重点)专业15个、经济社会发展亟需建设重点专业5个
山东省精品(特色)课程53门
山东省精品资源共享课程18门
“十二五”国家级职业教育规划教材10部
山东省优秀教材6部
山东省教学改革项目38项
师资队伍
学院现有教职工673人,其中正高级职称28人,副高级职称112人,博、硕士共280人,专任教师中有企业工作经历或者研修经历的占100%。
中国科学院院士闻邦椿为名誉院长,中国工程院院士周世宁、国际宇航科学院院士庄洪春、中央电视台著名节目主持人鞠萍等为特聘教授
引进享受国务院政府特殊津贴专家刘宝新在内的11名行业企业专家担任专业带头人
山东省教学名师3人、青年技能名师4人、优秀教师7人、教育科学研究专家8人、职业教育专业指导委员会委员8人、重点教改项目指导专家15人
潍坊市专业技术拔尖人才6人、首席技师4人
省级教学团队7个、省高校黄大年式教学团队1个、省级名师工作室4个
获得国家级教学成果奖1项、省级教学成果奖17项
获得全国高校青年教师教学比赛一等奖1项;国家职业院校信息化教学大赛一等奖2项、二等奖1项、三等奖1项;山东省职业院校信息化教学大赛一等奖3项、二等奖9项、三等奖7项;山东省职业院校教师教学能力大赛一等奖2项、二等奖2项、三等奖1项;山东省职业院校技能大赛(教师比赛)二等奖7项,三等奖2项;山东省职业院校技能大赛(高职教师组)二等奖1项,三等奖3项;山东省高校青年教师教学比赛一等奖1项、二等奖2项、三等奖1项;山东省高职院校微课教学比赛一等奖5项、二等奖3项、三等奖6项;山东省高校青年教师多媒体教学课件竞赛一等奖1项、三等奖3项。
产教融合,校企合作
大力推进产教深度融合,形成了校政行企军多元合作体制机制,探索实践政府出地、学校出资的“校政共建”模式,学校出地、企业出资的“引企入校”模式,多方携手共建的“职教集团”模式和军地共建的“校军合作”模式。
全国定向培养直招士官专业组副组长单位
与青州市政府共建花卉学院,与潍坊高新区管委会共建潍坊学前教育实训中心
与山东圣世鸿大实业集团公司共建了15000平方米食品研究所和产学研一体化的生产性实训车间
与青州百年老字号“隆盛糕点”共建2万平方米校内食品研发实训基地
与亚太机械有限公司合作建成2万平方米的现代学徒制教育实训中心
与潍坊电信公司合作建成功能齐全的数字化校园
牵头组建潍坊市食品职教集团、潍坊市工程机械职教集团,吸引198家企业开展深层次合作,企业捐赠资金(设备)1500余万元
与中职学校以及本科院校组成职教联盟,探索中高职衔接培养、与本科院校“3+2”对口贯通分段培养,形成“上下贯通,左右融通,内外互通”的集团化办学格局
与北京华联航空、山东新锐通用航空公司共建混合所有制航空工程学院,我院成为省内第一家既拥有直升机又有独立飞行空域的高校
与潍坊中晨集团合作共建省内第一家混合所有制艺术类学院——凤凰艺术学院
校企合作研究项目“国际化视野高端技能型人才培养模式的探索与实践”,获得国家教学成果二等奖,省级教学成果一等奖
技术技能积累
优化科技创新服务平台,全力推进科技成果有效对接,促进技术、人才和资本的深度融合。近三年承担省级及以上科研项目50项,获得专利64项,其中发明专利5项。实现技术转让与技术服务到款额1123.69万元。
山东省教育科学优秀成果奖一等奖1项、二等奖1项、三等奖2项。
山东省高等学校优秀科研成果一等奖2项、二等奖1项、三等奖6项
发表学术论文1503篇,其中SCI、EI检索、北大核心期刊及以上论文28篇
“特色农产品深加工技术研发中心”被确定为山东省高等学校工程技术研发中心
潍坊市重点实验室3个、潍坊市科技企业孵化器1个
成立科研创新团队19个、研究所(院)18个
58名教师被企业聘为技术顾问,解决技术难题120多项,增加经济效益超亿元
山东省高校优秀科研成果一等奖“山楂干红酿造技术”和“柿叶护肤霜生产技术”均已实现成果转化
国际化办学
坚持开门开放办学,深度参与“一带一路”战略,先后与与英国、美国、韩国、新加坡、澳大利亚等14个国家和地区的26所高校进行合作与交流,先后派出79名学生赴国(境)外留学研修、实习就业,95名教师出国(境)考察学习,聘请20名外籍教师来院任教,其中1名获山东省文教专家教学奖。
潍坊市首批教育国际交流与合作基地
被山东省教育厅批准为“接受外国留学生资格学校”
与韩国敬仁女子大学开展“中外合作学前教育专业(2+1)专科学历教育”项目
与美国埃德蒙社区学院合作举办机电一体化技术专业专科教育项目
与澳大利亚本迪戈坎培门公立职业技术学院,商定共同举办学前教育专业专科教育项目
与菲律宾莱西姆大学签订合作办学协议,在校际专业、学生免费交换学习、师资交换培训、共同举办中外合作办学项目及学生专升本升硕等方面开展合作
与韩国国立全北大学共建韩语培训合作单位
校园文化
坚持以立德树人为根本,秉承“做精做实、创业创造”的校训精神,坚持以传播主流政治文化为统领,传承百年书院文化,弘扬中华优秀传统文化,吸收地域“青齐文化”,培育现代职业文化,从精神、制度、物质、行为四个层面有机融合,构建了以“培诚明德,至善至真”为特色的育人文化,形成了“回首那份爱”“我的中国梦”等一批文化品牌活动。
“回首那份爱”感恩教育获得教育部校园文化建设优秀成果二等奖、山东省优秀成果一等奖
山东省道德模范1名
全国百名优秀志愿者1名
被共青团山东省委授牌成立“孔子学堂”
省优秀大学生科技社团2个
全国高校廉政文化作品征集活动山东省赛区一等奖2个、三等奖3个
山东省第五届大学生艺术展演优秀组织奖
山东省青少年“国学达人”挑战赛优秀组织奖
山东省大学生科技艺术节优秀组织奖
山东省第三届人文艺术作品大赛一等奖1项
山东省职业院校中华诗词大会二等奖1项
山东省高校思想政治优秀成果评选三等奖6项
山东省大学生思想政治教育优秀工作案例1个
辐射带动作用
坚持立足区域,积极开展职业教育培训、社会服务,成为面向区域经济发展的重要的教育服务基地,发挥了很好的辐射带动作用。
中央电视台、中国教育报、中国高职专科教育网、潍坊电视台、潍坊日报等国家级媒体以及省市媒体对学院办学理念、办学模式、办学经验进行了多次报道,在省内外产生了广泛影响
完成各类技术技能人才培训近15万人次,学历水平提升7502人次,完成32个工种培训鉴定11776人次,科技服务活动450余次,服务群众15000人次
与兰陵职教中心共同制定三二连读计算机应用专业、学前教育人才培养方案,开发建设精品资源共享课5门,投资建设1个标准计算机机房,开展教师培训80人次
开展贵州省七星关、织金县教育管理干部和骨干教师培训14期,培训645人
人才培养
坚持对接产业、职业岗位和职业标准,优化人才培养方案。构建了“三个平台”课程体系、能力递进式实践教学体系和“5412”素质教育体系,进一步提升了学生的专业技能和综合素质。
在2018年全国职业院校技能大赛中,荣获一、二、三等奖各1项
在2017、2018年全省职业院校技能大赛中,获得一等奖3项、二等奖9项、三等奖18项
2017中国(北京)职业技能博览会创新奖
连续两年荣获全国高职院校创新创业教育先进单位
近三年来,5名学生被授予“山东省双创之星”“潍坊市优秀大学生创业者”“潍坊市政府创业奖”等荣誉称号
涌现出以山东省道德模范、全国百名优秀志愿者马广超为代表的优秀学生群体
学生总体就业率99.85%
用人单位对学生满意度97%以上
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前些天,我国本土半导体设备传来好消息,中微半导体设备(上海)有限公司自主研制的5nm等离子体刻蚀机经台积电验证,性能优良,将用于全球首条5nm制程生产线。刻蚀机是芯片制造的关键装备之一,中微突破关键核心技术,让“中国制造”跻身刻蚀机国际第一梯队。
近年来,我国大陆半导体设备企业一直在努力追赶国际先进脚步。在多种设备领域有一定突破,除了上述中微半导体的5nm等离子体刻蚀机之外,有越来越多的产品可应用于14nm、7nm制程。
但是,国内设备与国外先进设备相比仍有较大差距,主要表现在两方面:一是有一定竞争力的产品在领先制程上的差距;二是部分产品完全没有竞争能力或尚未布局,比如国内光刻机落后许多代际,仅能达到90nm的光刻要求,国内探针台也处于研发阶段,尚未实现销售收入。
那么,在国家的扶持下,经过这么多年的发展,我国本土半导体设备各个细分领域的发展情况如何呢?相关企业都有哪些?发展到了什么程度呢?下面就来梳理一下。
北方华创
北方华创由七星电子和北方微电子战略重组而成。七星甴子主营清洗机、氧化炉、 气体质量控制器(MFC)等半导体装备及精密甴子元器件等业务,此外七星甴子还是国内真空设备、 新能源锂甴装备重要供应商。北方微甴子主营刻蚀设备(Etch)、物理气相沉积设备(PVD)、化学气相沉积设备(CVD)三类设备。
2010 年 3 月,七星甴子在深交所上市。 2016 年 8 月,七星甴子与北方微甴子实现战略重组,成为中国规模最大、产品体系最丰富、涉及领域最广的高端半导体工艺设备供应商,开成功引迚国家集成甴路产业基金(大基金)等战略投资者,实现了产业与资本的融合。 公司实际控制人是北京甴控,隶属于国资委。
2017 年 2 月,七星甴子正式更名为北方华创 科技 集团股仹有限公司,完成了内部整合,推出全新品牉“北方华创”,开形成了半导体装备、真空装备、新能源锂甴装备和高精密甴子元器件四大业务板块加集团总部的“4+1”经营管理模式。
北方华创的半导体装备亊业群主要包括刻蚀机、 PVD、 CVD、氧化炉、扩散炉、清洗机及质量流量控制器(MFC)等 7 大类半导体设备及零部件,面向集成甴路、先进封装等 8 个应用领域,涵盖了半导体生产前段工艺制程中的除光刻机外的大部分兲键装备。 客户包括中芯国际、华力微甴子、长江存储等国内一线半导体制造企业,以及长甴 科技 、 晶斱 科技 、华天 科技 等半导体封装厂商。
重组之后,北方华创业绩快速增长。2017 年实现营业收入 22.23 亿元,同比增长37.01%,归母净利润 1.26 亿元,同比增长 35.21%。 根据公司 2018 年半年报业绩快报,2018 年上半年公司实现营业收入13.95 亿元,同比增长 33.44%, 归母净利润 1.19 亿元,同比增长 125.44%。 随着下游晶圆厂投资加速, 公司半导体设备等觃模持续扩张。
长川 科技
长川 科技 是国内集成电路封装测试、晶圆制造及芯片设计环节测试设备主要供应商。 半导体测试设备主要包括分选机、 测试机和探针台三大类。自2008年4月成立以来,该公司率先实现了半导体测试设备(分选机和测试机) 的国产化, 并获得国内外众多一流集成电路企业的使用和认可。
该公司于 2012 年 2 月承担并完成国家“十二五”规划重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”中的高端封装设备与材料应用工程项目,并于 2015 年 3 月获得国家集成电路产业基金投资。
该公司的测试机和分选机在核心性能指标上已达到国内领先、接近国外先进水平,同时售价低于国外同类型号产品,具备较高的性价比优势。 公司产品已进入国内主流封测企业, 如天水华天、 长电 科技 、 杭州士兰微、 通富微电等。 2017 年,该公司对外积极开拓市场, 设立台湾办事处,拓展台湾市场。
2013~2017年,长川 科技 营收实现了由 4,341 万元到 1.80 亿元的跨越,复合增速达39.75%。 2017 年,归属母公司净利润由992万元增长至 5,025 万元, 复合增速达31.48%。
中微半导体
中微半导体成立于 2004 年,是一家微加工高端设备公司, 经营范围包括研发薄膜制造设备和等离子体刻蚀设备、大面积显示屏设备等。该公司管理层技术底蕴深厚,大多有任职于应用材料、LAM和英特尔等全球半导体一流企业的经验。
中微半导体先后承担并圆满完成 65-45 纳米、 32-22 纳米、22-14 纳米等三项等离子介质刻蚀设备产品研制和产业化。 公司自主研发的等离子体刻蚀设备 Primo D-RIE 可用于加工 64/45/28 纳米氧化硅、氮化硅等电介质材料,介质刻蚀设备 Primo AD-RIE 可用于 22nm 及以下芯片加工,均已进入国内先进产线。中微半导体的介质刻蚀机已经完成了5nm 的生产。
晶盛机电
晶盛机电是一家专业从事半导体、光伏设备研发及制造的高新技术企业,是国内技术领先的晶体硅生长设备供应商。该公司专注于拥有自主品牌的晶体硅生长设备及其控制系统的研发、制造和销售,先后开发出拥有完全自主知识产权的直拉式全自动晶体生长炉、铸锭多晶炉产品。
该公司立足于“提高光电转化效率、降低发电成本”的光伏技术路线,实现了硅晶体生长“全自动、高性能、高效率、低能耗”国内领先、国际先进的技术优势。全自动单晶炉系列产品和 JSH800 型气致冷多晶炉产品分别被四部委评为国家重点新产品。同时公司积极向光伏产业链装备进行延伸,2015 年成功开发并销售了新一代单晶棒切磨复合一体机、单晶硅棒截断机、多晶硅块研磨一体机、多晶硅块截断机等多种智能化装备,并布局高效光伏电池装备和组件装备的研发。
该公司的晶体生长设备特别是单晶硅生长炉销售形势较好,主要是单晶光伏的技术路线获得认可,随着下游厂商的扩产,单晶的渗透率也逐步提升,带来对单晶硅生长炉的需求增加,该类产品收入已经占营业收入的 81%。
该公司主营业务伴随国内光伏产业的上升发展,给主营业务收入和利润带来显着增长,近两年的增长率均在 80%以上,另外,其毛利率水平和净利率水平也基本维持稳定。
上海微电子
上海微电子装备有限公司成立于2002年,主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、销售与服务,该公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造领域。
该公司主要产品包括:
600扫描光刻机系列—前道IC制造
基于先进的扫描光刻机平台技术,提供覆盖前道IC制造90nm节点以上大规模生产所需,包含90nm、130nm和280nm等不同分辨率节点要求的ArF、KrF及i-line步进扫描投影光刻机。该系列光刻机可兼容200mm和300mm硅片。
500步进光刻机系列—后道IC、MEMS制造
基于先进的步进光刻机平台技术,提供覆盖后道IC封装、MEMS/NEMS制造的步进投影光刻机。该系列光刻机采用高功率汞灯的ghi线作为曝光光源,其先进的逐场调焦调平技术对薄胶和厚胶工艺,以及TSV-3D结构等具有良好的自动适应性,并通过采用具有专利的图像智能识别技术,无需专门设计特殊对准标记。该系列设备具有高分辨率、高套刻精度和高生产率等一系列优点,可满足用户对设备高性能、高可靠性、低使用成本(COO)的生产需求。
200光刻机系列—AM-OLED显示屏制造
200系列投影光刻机综合采用先进的步进光刻机平台技术和扫描光刻机平台技术,专用于新一代AM-OLED显示屏的TFT电路制造。该系列光刻机不仅可用于基板尺寸为200mm × 200mm的工艺研发线,也可用于基板尺寸为G2.5(370mm × 470mm)和G4.5(730mm × 920mm)的AM-OLED显示屏量产线。
硅片边缘曝光机系列——芯片级封装工艺应用
SMEE开发的硅片边缘曝光机提供了满足芯片级封装工艺中对硅片边缘进行去胶处理的能力,设备可按照客户要求配置边缘曝光宽度、硅片物料接口形式、曝光工位等不同形式。设备同时兼容150mm、200mm和300mm等三种不同规格的硅片,边缘曝光精度可到达0.1mm。设备配置了高功率光源,具有较高的硅片面照度,提高了设备产率。
至纯 科技
至纯 科技 成立于 2000 年, 主要为电子、生物医药及食品饮料等行业的先进制造业企业提供高纯工艺系统的整体解决方案, 产品为高纯工艺设备和以设备组成的高纯工艺系统,覆盖设计、加工制造、安装以及配套工程、检测、厂务托管、标定和维护保养等增值服务。
该公司在 2016年前产品约一半收入来自医药类行业,光伏、 LED 行业及半导体行业收入占比较小。 2016年以来,公司抓住半导体产业的发展机遇,逐步扩大其产品在半导体领域的销售占比, 2016和 2017 年来自半导体领域收入占公司营业收入比重分别为 50%和 57%,占据公司营业收入半壁江山。主攻半导体清洗设备。
该公司于 2015 年开始启动湿法工艺装备研发, 2016 年成立院士工作站, 2017 年成立独立的半导体湿法事业部至微半导体,目前已经形成了 UltronB200 和 Ultron B300 的槽式湿法清洗设备和 Ultron S200 和 Ultron S300 的单片式湿法清洗设备产品系列, 并取得 6 台的批量订单。
精测电子
武汉精测电子技术股份有限公司创立于 2006 年 4 月,并于 2016 年 11 月在创业板上市。公司主要从事平板显示检测系统的研发、生产与销售,在国内平板显示测试领域处于绝对领先地位, 主营产品包括:模组检测系统、面板检测系统、OLED 检测系统、AOI光学检测系统和平板显示自动化设备。近几年来,该公司积极对外投资,设立多家子公司,业务规模迅速扩张,进一步完善了产业布局。
该公司成立初期主要专注于基于电讯技术的信号检测,是国内较早开发出适用于液晶模组生产线的 3D 检测、基于 DP 接口的液晶模组生产线的检测和液晶模组生产线的 Wi-Fi 全无线检测产品的企业,目前该公司的 Module 制程检测系统的产品技术已处于行业领先水平。
2014 年,精测电子积极研发 AOI 光学检测系统和平板显示自动化设备,引进了宏濑光电和台湾光达关于 AOI 光学检测系统和平板显示自动化设备相关的专利等知识产权,使其在 Array制程和 Cell 制程的检测形成自有技术,初步形成了“光、机、电”技术一体化的优势。
精测电子2018年上半年财务报告显示,该公司收入主要来自 AOI 光学检测系统业务,占比 45.49%,毛利占比 41.94%;其次是模组检测系统业务,收入占比 23.33%,毛利占比 27.68%; OLED 检测系统和平面显示自动化设备收入占比分别为 14.29%和12.30%,毛利占比为 14.26%和 10.28%。
电子 科技 集团45所
中国电子 科技 集团公司第45研究所创立于1958年,2010年9月,中央机构编制委员会办公室批准45所第一名称更改为“北京半导体专用设备研究所”,第二名称仍保持“中国电子 科技 集团公司第四十五研究所”不变。
45所是国内专门从事军工电子元器件关键工艺设备技术、设备整机系统以及设备应用工艺研究开发和生产制造的国家重点军工科研生产单位。
45所以光学细微加工和精密机械与系统自动化为专业方向,以机器视觉技术、运动控制技术、精密运动工作台与物料传输系统技术、精密零部件设计优化与高效制造技术、设备应用工艺研究与物化技术、整机系统集成技术等六大共性关键技术为支撑,围绕集成电路制造设备、半导体照明器件制造设备、光伏电池制造设备、光电组件制造和系统集成与服务等五个重点技术领域,开发出了电子材料加工设备、芯片制造设备、光/声/电检测设备、化学处理设备、先进封装设备、电子图形印刷设备、晶体元器件和光伏电池等八大类工艺设备和产品,服务于集成电路、光电元器件与组件、半导体照明和太阳能光伏电池四大行业.
上海睿励
睿励科学仪器(上海)有限公司是于2005年创建的合资公司,致力于研发、生产和销售具有自主知识产权的集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备。主要生产用于65/28/14nm制程工艺控制的膜厚测量设备。
沈阳芯源
沈阳芯源微电子设备有限公司成立于2002年,由中科院沈阳自动化研究所引进国外先进技术投资创建。
芯源公司自主开发的单片匀胶机、显影机、喷胶机、去胶机、清洗机、湿法刻蚀机等设备广泛应用于半导体、先进封装、MEMS、LED等领域。
1.LED领域匀胶显影机:应用于LED芯片制造、PSS(图形化衬底)、MEMS、HCPV(高聚光型太阳能电池)、Waveguide(光波导)工艺的匀胶显影等工艺制程。
2.高端封装全自动涂胶显影机:广泛应用于先进封装BGA、Flip-Chip、WSP、CSP制程的高黏度PR、PI、Epoxy的涂敷、显影工艺制程。
3.高端封装全自动喷雾式涂胶机: 广泛应用于TSV、MEMS、WLP等工艺制程。
4.单片湿法刻蚀机/去胶机/清洗机:广泛应用于先进封装BGA、Flip-Chip、WSP、CSP制程的刻蚀、去胶、清洗工艺制程。
5.前道堆叠式全自动涂胶显影机:应用于90nm光刻工艺、BARC涂覆、SOC、SOD、SOG等工艺制程。
盛美半导体
盛美半导体(ACM Research)是国内半导体清洗设备主要供应商,于1998年在美国硅谷成立,主要研发电抛光技术,2006 年成立上海子公司,专注于半导体清洗设备。2017年11月4日公司在美国纳斯达克上市。2017年公司营业收入3650万美元,同比增长33.2%,其中90%以上的营业收入来自于半导体清洗设备。2017 年研发投入占营业收入比例为14.1%。
由于声波清洗可能会造成晶片损伤,行业公司大多转向研发其他技术,盛美半导体另辟蹊径研发出空间交变相移兆声波清洗(SAPS)和时序能激气泡震荡兆声波清洗(TEBO)两项专利技术,可以实现无伤清洗。公司的清洗设备目前已经进入 SK 海力士、长江存储和上海华力等先进产线。
天津华海清科
天津华海清科机电 科技 有限公司成立于2013年,是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略,为推动我国化学机械抛光(CMP)技术和设备产业化成立的高 科技 企业。
华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务,核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才,产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。
中电科装备
中电科电子装备集团有限公司成立于2013年,是在中国电子 科技 集团公司2所、45所、48所基础上组建成立的二级成员单位,属中国电子 科技 集团公司独资公司,注册资金21亿元,该公司是我国以集成电路制造装备、新型平板显示装备、光伏新能源装备以及太阳能光伏产业为主的科研生产骨干单位,具备集成电路局部成套和系统集成能力以及光伏太阳能产业链整线交钥匙能力。
多年来,利用自身雄厚的科研技术和人才优势,形成了以光刻机、平坦化装备(CMP)、离子注入机、电化学沉积设备(ECD)等为代表的微电子工艺设备研究开发与生产制造体系,涵盖材料加工、芯片制造、先进封装和测试检测等多个领域;通过了ISO9001、GJB9001A、UL、CE、TüV、NRE等质量管理体系与国际认证。
沈阳拓荆
沈阳拓荆 科技 有限公司成立于2010年4月,是由海外专家团队和中科院所属企业共同发起成立的国家高新技术企业。拓荆公司致力于研究和生产薄膜设备,两次承担国家 科技 重大专项。2016年、2017年连续两年获评“中国半导体设备五强企业”。
该公司拥有12英寸PECVD(等离子体化学气相沉积设备)、ALD(原子层薄膜沉积设备)、3D NAND PECVD(三维结构闪存专用PECVD设备)三个完整系列产品,技术指标达到国际先进水平。产品广泛应用于集成电路前道和后道、TSV封装、光波导、LED、3D-NAND闪存、OLED显示等高端技术领域。
华海清科
天津华海清科机电 科技 有限公司成立于2013年,是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略,为推动我国化学机械抛光(CMP)技术和设备产业化成立的高 科技 企业。
华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务,核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才,产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。
以上就是我国大陆地区的主要半导体设备生产企业。
随着我国半导体产业的快速发展,对半导体设备的需求量越来越大,而本土半导体设备企业面临着供给与需求错配的情况。一方面,国内的半导体设备需求随着下游产线的扩张而迅速增加,大陆的半导体设备需求占全球半导体设备需求的比重较高;但另一方面,本土的设备供给存在着水平较为落后,国产化率不高的情况。
针对这一情形,在国家的大力支持下,国内设备企业需要积极布局,以在各细分设备领域实现突破。
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