集成电路半导体车间工厂需要布置无尘车间?

集成电路半导体车间工厂需要布置无尘车间?,第1张

集成电路无尘车间是为了满足半导du体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

远程在线式遥测激光尘埃粒子计数器是几乎每个精密电子车间必不可少的设备,如果在我们的半导体车间中有这样一种监测颗粒浓度的仪器,那么我们在办公室时就可以轻松了解车间中尘埃粒子情况,实现产品生产与监督智造的智能体验。例如,当我们检测到车间内的颗粒浓度过高时,我们可以及时通知相应车间的负责人,并采取针对性的措施降低颗粒浓度,以达到安全可靠的标准,这非常有利于产品的安全生产,为客户提供可靠的高质量产品。

CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器是深圳赛纳威研发的智能多点净化检测系统的终端设备,不仅可以为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级,根据不同需要增加或减少控制终端,还可以实现7*24实时远程自动监测,通过RJ45网络接口、WiFi、485(moudbus)等,将数据送给PC终端,显示当前监测环境的洁净状况。该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定,专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。

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无尘车间是一种可以对空气洁净度进行净化调节的生产车间,主要应用于食品,医药,电子半导体产业这些对空气洁净度有较高要求的产业。无尘车间主要有这几个等级:十级、百级、千级、万级、十万级无尘车间。净化空调系统是无尘车间的核心系统,也是无尘车间对空气进行净化的主要系统.

无尘车间的主要由以下几个部分组成:

1.净化车间围护结构

净化车间的围护结构是由土建材料现场构筑或由工厂预制的构件构筑,包括洁净厂房的土建结构和在土建结构内分隔出净化车间的建筑装修部分。除了合理的平、剖面规划布置外,为满足洁净要求的建筑和装修构造节点的设计和制作也是重要的构成部分。

2.无尘车间的空气净化系统

空气净化系统是整个净化车间中最重要的系统,它的作用就是过滤空气,使室内的空气洁净度达到标准。除了要满足工艺要求的室内温湿度外,净化空调系统的显著特点是根据需要采用多级空气过滤器、保证足够的风量和有序的压力控制等。末级过滤器的性能对洁净室具有关键作用,末端高效过滤器安装的密封性不可忽视。

3.净化车间的附属设备

为保证净化车间的使用,应有合理的人流物流路线和合格的人物净化设施,如空气吹淋、传递窗等。

一、洁净车间空气净化系统的工作原理是气相吸附中常使用颗粒活性炭,通常是让气流通过活性炭层进行吸附。

二、化工厂、皮革厂、造漆厂以及使用各种有机溶剂的工程排出的气体中,含有各种有机溶剂、无机及有机硫化物、烃类、氯气、油、汞及其他对环境有害的成分,可以用活性炭进行吸附以后再排放。

扩展资料:

模式一:标准组合室空调风柜+空气过滤系统+洁净室通风保温管道+HEPA高效送风口+洁净室回风管道系统的工作原理,不断的循环和补充新风送人洁净室车间内,以达到生产环境所需的洁净度。

模式二:洁净车间天花安装FFU工业空气净化器直接往洁净室送风+回风柱回风系统+吸顶式空调机制冷的工作原理。这种形式一般对用于环境洁净度要求不是非常高的场合,并且成本相对低一些。如食品生产车间、普通的理化实验室工程、产品包装间、化妆品生产车间等。

参考资料来源:百度百科-净化车间


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