半导体设备上的efx chamber什么意思

半导体设备即为利用半导体元件制造的电气设备。半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。半导体设备有激光打标机，激光喷码机，包装机，纯水机等等半导体材料分类半导体材料按化学成分和内部结构，大致可分为以下几类：化合物半导体由两种或两种以上的元素化合而成的半导体材料。无定形半导体材料 用作半导体的玻璃是一种非晶体无定形半导体材料，分为氧化物玻璃和非氧化物玻璃两种。元素半导体有锗、硅、硒、硼、碲、锑等。有机增导体材料已知的有机半导体材料有几十种，包括萘、蒽、聚丙烯腈、酞菁和一些芳香族化合物等，目前尚未得到应用 。

光刻机工作温度与光刻机构造密不可分。光刻机构造一般分为：照明系统（光源+产生均匀光的光路），Stage系统（包括Reticle Stage和Wafer Stage)，镜头组（这个是光刻机的核心），搬送系统（Wafer Handler+ Reticle Handler)，Alignment系统（WGA,LSA, FIA)。另外半导体光刻机的工作温度必须保持在23度，要保证wafer在恒温和无particle的环境，必须要有恒温和控制particle、ESD的工作chamber。

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