Mini固晶机在精度、速度上有什么样的标准吗?

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Mini固晶机主要作业对象就是Mini LED的基板,Mini LED的芯片间距和芯片大小都比传统的LED要小不少,芯片尺寸介于50~200μm之间,间距在0.3-1.2mm之间,所以要求Mini固晶机在精度上有要求,目前在精度上卓兴可以做到<+/-15u。另外,因为芯片是贴合在锡膏上,所以必须在锡膏变性前完成贴合,固晶速度必须快,这一点卓兴可以做到50K/H的速度,高于行业其他设备,综合上述来看,在性能上卓兴半导体的Mini固晶机应该是目前的行业“最优解”了。

3C固晶法则分别指的是3个英文单词的首字母:Correction校正、Control控制、Continuity连续。分别对应的在固晶工艺中解决角度、速度、良率和固晶范围等问题需要用到的工艺方法。下面我详细介绍下这三个方法:

一是角度校正(Correction),包含两个部分:1、晶圆环校正,保证固晶机摆臂抓取晶圆时位置更准,抓取成功率更高;2、是晶圆校正,当晶圆被抓取之后通过动态角度调整,保证晶圆贴合姿态更正,位置误差更小。

二是压力控制(Control),贴合模组内置高精度直线和旋转运动,在芯片贴合的同时进行压力检测和控制,以保证每一个芯片都能以完美的力度贴合到基板对应位置,固晶良率达到99.99%以上。

三是连续固晶(Continuity),卓兴半导体创新双臂同步固晶模式,单位时间内比传统固晶机效率提高一倍。此外,卓兴半导体还有双臂6晶圆环混打设计,一次装夹完成RGB三色固晶,效率更高,单位时间内固晶更多。目前卓兴半导体固晶效率可以达到40K/H,高于市场平均水平。


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