半导体黄光影响

半导体黄光影响,第1张

产生薄膜、扩散、蚀刻的影响。

黄光区有电压稳定装置,不致发生晶圆报废情况,但半导体黄光会产生薄膜、扩散、蚀刻区的风险,且较大,可以说是全面报废。

黄光是在半导体行业里,将硅片等晶片进行涂胶、软烘、曝光、显影、硬烤,使其光刻出一定图形的工艺。特点是,黄光是精细电路的制程工艺之一。

半导体黄光区不难学。

黄光区是指TFT工厂或者半导体工厂中的光刻区包含光刻胶涂布、曝光、显影及刻蚀工序

在半导体工业普遍使用的光刻胶,类似于相机的胶片,在遭遇光线照射(特别是紫外线)即有曝光之效果,因此在显影之前,都要远离此光源。因为黄光的波长较长,不容易使得光刻胶曝光,因此将黄光作为显影前最理想的照明光源。


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