1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?

1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?,第1张

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

吉光半导体科技有限公司没有上市,吉光半导体科技有限公司坐落在国家科教名城吉林长春,是一家专业从事半导体芯片技术研发及制造的高新技术企业,拥有完整的半导体芯片生产线。公司致力于为产业提供多元化技术创新服务,立足科技创新,多项核心技术拥有完全自主知识产权,坚持研产学并举的发展模式,聚焦光通信、智能感知、先进制造领域的半导体激光芯片技术,以半导体激光创新技术研发为核心使命,致力于源头技术创新、实验室成果中试熟化、应用技术开发升值,构建支撑产业发展的技术创新平台。优化整合优势资源,面向半导体激光产业上下游深度开放共享,建成集技术创新、新技术中试、高端人才培养、成果转化、产业服务为一体的国际一流半导体激光技术综合性研发基地。公司园区总占地面积5公顷,总建筑面积2.8万平方米,有超过3500平方米的洁净实验室,配备先进的研发、生产、检测设备,拥有从材料生长、芯片制备、封装测试的标准产线。

洁净室分为工业类洁净室和生物类洁净室

工业类洁净室适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带产生)LCD(液晶玻璃)、计算机硬盘、计算机磁头生产等行业。

生物类洁净室适用于制药工业、医院(手术室、无菌病房)食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等领域。还有要求比较高的细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程(重组基因、疫苗制备)等领域。


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