1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。
2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。
3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。
4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。
对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗
吉光半导体科技有限公司没有上市,吉光半导体科技有限公司坐落在国家科教名城吉林长春,是一家专业从事半导体芯片技术研发及制造的高新技术企业,拥有完整的半导体芯片生产线。公司致力于为产业提供多元化技术创新服务,立足科技创新,多项核心技术拥有完全自主知识产权,坚持研产学并举的发展模式,聚焦光通信、智能感知、先进制造领域的半导体激光芯片技术,以半导体激光创新技术研发为核心使命,致力于源头技术创新、实验室成果中试熟化、应用技术开发升值,构建支撑产业发展的技术创新平台。优化整合优势资源,面向半导体激光产业上下游深度开放共享,建成集技术创新、新技术中试、高端人才培养、成果转化、产业服务为一体的国际一流半导体激光技术综合性研发基地。公司园区总占地面积5公顷,总建筑面积2.8万平方米,有超过3500平方米的洁净实验室,配备先进的研发、生产、检测设备,拥有从材料生长、芯片制备、封装测试的标准产线。洁净室分为工业类洁净室和生物类洁净室工业类洁净室适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带产生)LCD(液晶玻璃)、计算机硬盘、计算机磁头生产等行业。
生物类洁净室适用于制药工业、医院(手术室、无菌病房)食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等领域。还有要求比较高的细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程(重组基因、疫苗制备)等领域。
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