光阻液主要由树脂(resin),感光剂(sensitizer),溶剂(solvent)三种成分混合而成。
光阻液种类: 光阻液分为正光阻及负光阻两种。
1. 正光阻: 光阻本身难溶于显影液,曝光后解离成小分子,形成容易溶于显影液的结构。
2. 负光阻: 曝光后形成不容易溶于显影液的结构。
羟基多巴胺类有机溶剂。EKC化学试剂为羟基多巴胺类有机溶剂,一般包含羟胺或其衍生物、季胺化合物的至少一种极性有机溶剂的组合物。
有机溶剂是一大类在生活和生产中广泛应用的有机化合物,分子量不大,它存在于涂料、粘合剂、漆和清洁剂中。经常使用有机溶剂如,苯乙烯、全氯乙烯、三氯乙烯、乙烯乙二醇醚和三乙醇胺等。
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