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NewViewTM6300三维表面轮廓仪

产品编号： 6101461516

产品名称： NewViewTM6300三维表面轮廓仪

规 格： 美国Zygo NewViewTM6300

产品备注： NewViewTM6300三维表面轮廓仪

产品类别： 光学仪器

产 品 说 明

这是一款精密定量，测量灵活的三维表面轮廓仪。其表面测量技术对于生产和研究领域的某些过程控制至关重要。

NewView6300可以以完美的精度提供样品表面粗糙度，步高，关键部分尺寸 ，以及其他面形特征的图形和数值结果。所有的测量过程都不会破坏样品，测量速度快，并且样品无需特殊处理。样品纵向分析的范围自小于1nm直至15000μm，基于专利的扫描技术，NewView6300的纵向分辨率可以达到0.1nm，此分辨率不受样品纹理，物镜放大率以及高度特性的影响，每次测量只需一次扫描！这就是今天ZYGO提供的具有最高分辨率，最高精确度的功能齐全的测量仪。

高速，非接触的测量方法

亚纳米级的Z轴分辨率

台阶高度测量达到15mm

使用简捷，高性价比

高性能的光写成像系统

NewView6300出色的光学性能和图形质量,塑造了ZYGO公司在光学设计和制造上的良好形象并积累了大量宝贵的相关经验.标准化配置包括一个6档位的缩放系统。更可提高对样品的3D分析能力。ZYGO公司提供各种放大率的物镜 ,它包括从1.0X至100X的放大率,还有用于扩展工作距离的物镜等.物镜可以很容易的安装在一个6工位的手动或者自动塔台，也可以使用快速装卸的适配器。NewView6300可以分辨亚微米级的XY平面面形，整个测量区域最大可达到100mmX100mm，如果使用图像拼接功能，还可以分析更大的范围，NewView6300可以在需要达到您要求的测量范围和分辨率，如今，测量范围和分辨率都不是问题。

NewView6300可以在满足要求的环境下提供高速，稳定高重复率的测量。ZYGO一如既往地保证扩展测量的准确度以及各个零部件的良好性能。整个系统的准确度可以很容易地使用美国国家仪器标准测量局NIST提供的标准块进行验证。

NewView6300配备ZYGO公司的MetroProTM测量软件，提供三维或者两维的数据分析，图形，以及应用程序选择。MetroProTM友好的 *** 作界面包括自动控制，密码保护，统计数据，可编程的脚本，个性化的界面，可自行设置的合格/不合格的标准等等。您也可以通过使用可选组件而使效率最大化，这些组件包括：一个五轴的自动化平台，自动聚焦，自动塔台等。

NewView6300为您提供全方位的技术来满足您的测量需要，为您的发展提供强大动力。

技术指标

NiewView6300

系统

原理 专利的白光扫描干涉仪

物镜 1X，2X，2.5X，5X，10X

20X，50X及长焦物镜

图像缩放 标准，6档位，0.5X，0.75X，1.0X，1.5X，2.0X

视场 0.04-17.5mm，使用拼接功能可获得更大范围；跟物镜有关；可参看物镜指标

光源 长寿命的白光LED

测量列阵 640x480像素，也可以选择更高分辨率

样品平台 可选择手动或者自动平台。标准得Z轴方向的移动范围是100mm

手动型:±6o tip/tilt,±2in.X/Y

自动型:±4o tip/tilt,±3in.X/Y

扫描装置 低噪电容传感器的闭环反馈压电陶瓷

性能

纵向分辨率 可到 0.1nm

横向分辨率 0.45 to 11.8um

扫描速度 <=85um/s

台阶测量准确度 <=0.75%

台阶测量重复率 <=0.1%,1sigma

纵向扫描范围 可到 15mm

目前国内3D轮廓测量仪主要品牌是中图仪器，SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

SuperView W1光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

国外品牌主要是ZYGO和Bruker

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