sic 的掺杂物?p 型,n 型

sic 的掺杂物?p 型,n 型,第1张

本发明公开了利用基本上无深能级掺杂物的半绝缘SiC衬底的SiC MESFET。半绝缘衬底的利用可以减少MESFETs中的背栅效应。还提供了具有两个凹槽的栅极结构的SiC MESFETs。还提供了具有选择掺杂的p型缓冲层的MESFETs。这种缓冲层的利用可以在具有常规的p型缓冲层的SiC MESFETs之上降低到其三分之一的输出电导并产生3db的功率增益。还可以提供到p型缓冲层的地接触,p型缓冲层可以由两种p型层形成,其具有在衬底上形成的较高掺杂物浓度的层。根据本发明的实施例SiC MESFETs还可以利用铬作为肖特基栅极材料。此外,可以采用氧化物-氮化物-氧化物(ONO)钝化层以减少SiCMESFETs中的表面效应。同样,可以直接在n型沟道层上形成源和漏欧姆接触,因此,不需要制造n+区域,有关这种制造的步骤可以从制造工艺中去除。还公开了制造这种SiC MESFETs和用于SiC FETs的栅极结构以及钝化层的方法。

专利主权项

权利要求书 1.一种金属-半导体场效应晶体管,包括:半绝缘碳化硅衬底,其基本上无深能级掺杂物;在衬底上的n型导电性碳化硅的n型外延层;在n型外延层上的欧姆接触,其分别确定源区和漏区;以及在n型外延层上的肖特基金属接触,其位于欧姆接触之间并由此在源区和漏区之间,以便当偏压施加到肖特基金属接触时在n型外延层中的源区和漏区之间形成有源沟道。

在讲解固态硬盘(SSD)前,我们先讲几个术语(名词)。就像我们如果讲解机械硬盘,我们要明白磁盘和磁头,读写部分的机械结构等。

反正吧,磨刀不误砍柴工。

为了更好地展开说明,列举一些容易混淆的概念并加以说明。

闪存介绍

上面提到闪存在固态硬盘的广泛应用,所以在讲解固态硬盘的各种算法前需要重点介绍一下闪存的特性。

闪存使用三端器件作为存储单元,分别为源极、漏极和栅极,主要利用电场的效应来控制源极与漏极之间的通断在栅极 与硅衬底之间增加了一个浮置栅极,浮置栅极可以存储电荷,利用电荷存储来存 储记忆。

擦除:释放浮置栅极的电荷,从而使之变成‘1’,这个动作被称为“擦除”。

编程:向浮置栅极注入电荷,从而使之变成‘0’,这个动作被称为“编程”。

2. 内部组织结构

闪存颗粒内部一般由成千上万个大小相同的块(Block) 所组成,块大小一般为数百 KB 倒数 MB。每一个块的内部又分为若干个大小相同的页(Page),页的大小一般为 4KB 或者 8KB。

3. 数据写入

4. 数据读出

在通电 40 C 和断电 30 C 温度下,SSD 将将数据保留 52 周,即一年。如表所示,数据保留与活动温度成正比,与断电温度成反比,这意味着较高的断电温度将导致保留率下降。该活动温度仅为 25-30 C 且断电为 55 C 的最坏情况下,数据保留时间可能短至一周,这是许多网站所炒作“数据在几天内丢失”的言论。是的,它在技术上可能发生,但不是在典型的用户环境中。

在现实中,55 C 的断电温度对于客户端用户来说根本不现实,因为SSD很可能在室温下存储在室内某处(壁橱、地下室、车库等),温度往往低于 30 C。另一方面,活动的温度通常至少为 40 C,因为电脑中的硬盘和其他元件会产生热量,使之超过室温

Control Gate: 控制栅

ONO: 氧化层

Floating Gate: 浮动栅

Tunnel Oxide: 隧道氧化层

Silicon: 硅

与一般原理一样,数据保留的时长是有技术解释的。半导体的导电率随温度而变化,这对NAND来说是个坏消息,因为当它不通电时,电子不应该移动,因为这会改变单元(cell)的电荷。换句话说,随着温度的升高,电子更快地从浮动栅中逸出,最终改变单元的电压状态,使数据不可读(即SSD不再保留数据)。

对于正常通电使用时,温度具有相反的效果。由于较高的温度使硅导电性更高,因此在编程/擦除 *** 作过程中电流较高,对隧道氧化层的压力较小,从而提高了单元(cell)的耐久性,因为隧道氧化层保持电子在浮动栅内的能力实际上决定了SSD的耐久性[寿命]。

总之,在典型的客户环境中, 绝对没有理由担心 SSD 数据保留时长 。请记住, 此处提供的数字适用于已通过其耐久性考核的SSD(写入量达到标称值) [潜台词就是隧道氧化层将电子控制在浮动栅的能力已经变得较差了]。因此对于新SSD,数据保留时长要久得多,通常对于基于 全新的MLC NAND的SSD来说, 数据保留时长通常会超过十年 。如果你今天买了一个SSD,并存储数据,SSD本身将变得完全过时比它将失去它的数据更快。此外,考虑到 SSD 的成本,将它们用于冷存储无论如何都不经济高效,因此,如果您希望存档的数据,我建议仅出于成本原因使用机械硬盘。


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