对身体有害。
半导体产业属于重污染企业,工厂内会有大量的酸性气体。这些气体来自于晶圆的蚀刻、清洗等过程。如HCl、HNO3、NH4OH等气体都很容易产生大量的浓烟,这些烟雾中含有刺激性且含毒性的NO2等等。
由于半导体制造的过程中会需要大量使用光阻液、显影液等等,这些溶液主要是有机物质,因此在蚀刻、清洗、薄膜生长等过程中,会有大量的有机溶剂被使用,其中就包括二甲苯、丙酮、苯、CCl4、CF4、CCl2F2等等,其中苯就是高毒性的一级致癌物。
半导体工厂对有害物质实施的措施
为了防止这些污染伤害员工、污染环境,半导体工厂需要有极为严格的污染防治措施,包括实时处理工作场所的空气、妥善处理生产废料。
尤其是快速发展的亚微米工艺对生产现场的空气洁净度要求特别高,所有半导体加工设备都必须放置在与灰尘隔离的封闭空间中,即为洁净室。
洁净室的洁净度有一个公认的标准,以10类为例,是指在单位立方英寸的洁净室空间内,平均只有10个粒径在0.5微米以上的粉尘,所以Class数越少,清洁度越好,当然成本也越贵。同时,也是洁净室设备厂商保证洁净空间安全、舒适、节能、高效。
你会不会以为半导体工厂内就是干净无比、一尘不染,并且只有少数几个人和大量的机器,然后这样的工厂怎么会对身体有害呢?其实半导体有点属于重污染企业,首先是半导体工厂内会有大量的酸性气体(这些气体来自于晶圆的蚀刻、清洗等过程)。其次,由于半导体制造的过程中会需要大量使用光阻液、显影液等等,这些溶液主要是有机物质,因此在蚀刻、清洗、薄膜生长等过程中,会有大量的有机溶剂被使用,其中就包括二甲苯、丙酮、苯、CCl4、CF4、CCl2F2等等,别的不说,苯就是高毒性的一级致癌物。
为了防止这些污染会伤害员工、污染环境,半导体工厂需要有极为严格的污染防治措施,包括实时处理工作场所的空气、妥善处理生产废料等等。可以说污染处理的任何一个环节出现了问题,那么都有可能对员工的身体造成巨大的伤害,同样也有可能会对周围的环境造成巨大的污染。
总而言之,半导体生产行业是高污染行业,一定要严抓相关企业的污染治理,不然最后的结果就是无数的悲剧。近几年来,由于半导体芯片在电脑,通信等领域的广泛应用,半导体制造业也在全球得到了飞速发展。在半导体制造业中,由于其昂贵设备的敏感性和制造过程的复杂性,工厂的布局变得不可以轻易更改,初始的不良布局结果会导致庞大的物料搬运成本、无效的生产以及重新布局时所需要的大量成本。
因此,工厂的设施规划已经成为半导体制造商们最关心的问题,在建厂初期他们就不得不对工厂进行谨慎详细的规划。这样,工厂投产以后整体生产系统才能发挥最大的生产效能。特别是迅速发展的亚微米工艺对生产场所空气洁净度要求特别高。所有半导体制程设备,都必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中,这就是洁净室的来由。
洁净室的洁净等级,有一公认的标准,以Class 10为例,意谓在单位立方英寸的洁净室空间内,平均只有粒径0.5微米以上的粉尘10粒。所以Class后头数字越小,洁净度越佳,当然其造价也越昂贵。 同时这对于洁净室设备生产制造企业来说也是一个机遇,深圳赛纳威是一家专业从事环境检测仪器及环境监测治理系统开发和制造的高科技企业,拥有由留美博士、硕士和光机电及软件工程师组成的一流研发团队,其专业致力于洁净室建设技术与服务,始终将洁净室最终使用者的利益与体验放在首位,确保洁净空间的安全、舒适、节能和高效,为洁净室使用者创造真实而持久的价值,公司早期开发的净化车间专用尘埃粒子计数器系列产品和气体检测仪器系列产品已经在国内外市场上占据了较高的市场份额。
CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器是智能多点净化检测系统的终端设备。为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级。根据不同需要增加或减少控制终端,可实现7*24实时远程自动监测,通过RJ45网络接口、WiFi、485(moudbus)等,将数据送给PC终端,显示当前监测环境的洁净状况。该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定,专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。
具体情况要具体分析。半导体厂一般会有有毒有害的物质,但不等于一定会有,也不等于每个设备都有。重点要看你所维修的设备是什么。一般的MOCVD是有毒的。另外,就是维修过程一定要注意自我防护,规定穿戴防毒面具的一定不要省略,一般应带橡胶手套。经验上处理腐蚀性物质时,带双层手套。至于辐射呢,一般没有电离辐射,电磁辐射多出现在有等离子体的设备上(比如磁控溅射,ICP刻蚀,PECVD等等)。最后说说我身边的经验。1、我们这有个学生,因为害怕有毒物质,坚决拒不遵守导师要求,拒不做实验。结果一年后,体检血砷含量,全实验室都没问题,就她自己砷超标。这个事情说明,接触砷等有害物质,并非仅仅通过正常的实验和工作。而正常的工作中严格防护也是非常安全的。2、我们这有的导师,经常维修MOCVD设备,接触有毒的管路,但他本人从不注意防护,这么多年过去了也没啥事儿啊。说明:设备带有有毒粉末并不可怕,粉末状的毒物如三氧化二砷,其危险性已经较低了(比起砷烷类气态化合物)。同时,砷烷等危险品是有气瓶保护的,外面还有毒气柜,还有一堆报警设备。这个要是泄漏了,第一时间跑就是了。反正报警的阈值非常低,报警后再跑来得及的……3、都说辐射如何有害,影响男性生殖。但是事实是本人维修使用磁控溅射多年了。现在也有了小孩。没啥事儿啊。同事中结婚的打算要孩子的都成功了……男性功能和这个关系不大,精子活性普遍降低的影响更大,和60年代DDT使用、环境污染,现在生活压力大等等的关系更大些。综上,工作中注意保护,严格遵守安全制度(别管它都么的麻烦,别人多麽的不遵守),就是安全的。出危险的概率比起回家途中被车撞死要低多了……祝你工作顺利愉快。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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