wafer)的一系列处理
1、清洗
->
2、在晶片上铺一层所需要的半导体
->
3、加上掩膜
->
4、把不要的部分腐蚀掉
->
5、清洗
重复2到5就可以得到所需要的芯片了
Cleaning
->
Deposition
->
Mask
Deposition
->
Etching
->
Cleaning
1、中的清洗过程中会用到硝酸,氢氟酸等酸,用于清洗有机物和无机物的污染
其中Deposition过程可能会用到多种器材,比如HELIOS等~
Mask
Deposition过程中需要很多器材,包括Spinner,Hot
plate,EVG等等~
根据材料不同或者需要的工艺精度不同,Etching也分很多器材,可以使用专门的液体做Wet
etch,或者用离子做Plasma
Etching等
最后一部的Cleaning一般是用Develpoer洗掉之前覆盖的掩模~
多数器材都是Oxford
Instruments出的
具体建议你去多看看相关的英文书,这里说不清楚。。
半导体数控是一种用于控制机械设备的技术,它可以提供更加精确的控制,以及更高的灵活性和可靠性。它可以控制机械设备的运动,包括转速、位置和力度,以及其他可以被控制的参数。它可以用于控制机械设备的运动,以及控制机械设备的加工过程,包括切削、焊接、组装等等。它还可以用于控制机械设备的 *** 作,以及控制机械设备的维护等等。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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