生产半导体用化工原料检验标准

在半导体工艺中，硫酸常用于去除光刻胶和配制洗液等。清洗中主要利用其强酸性、氧化性来解脱吸附在硅片表面的金属和无机物。浓硫酸不仅能与金属活动表中氢以前的金属作用，而且在加热条件下还能与金属活动表中氢以后的金属铜、汞、银等金属发生氧化还原反应。

如果有还原性物质，硫酸的氧化性就会下降，清洗不彻底吧

XPS是X-ray Photoelectron Spectroscopy 的简称，中文名叫X射线光电子能谱仪，是一种检测材料表面（约10nm深度）元素成份及价态的精密仪器。该仪器国内并不多见，主要集中在北上广等经济发达区的高校和科研院所，华中地区可找长沙中南大学0731-88830703

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