半导体硅片工艺中有一个是 RCA cleaning

RCA cleaning 就是采用RCA方法来清洗的意思.

RCA是一种典型的、普遍使用的湿式化学清洗法,该清洗法主要包括以下几种清洗液：

（1）SPM：H2SO4 /H2O2 120～150℃ SPM具有很高的氧化能力,可将金属氧化后溶于清洗液中,并能把有机物氧化生成CO 2和H2O.用SPM清洗硅片可去除硅片表面的重有机沾污和部分金属,但是当有机物沾污特别严重时会使有机物碳化而难以去除.

（2）HF(DHF)：HF(DHF) 20～25℃ DHF可以去除硅片表面的自然氧化膜,因此,附着在自然氧化膜上的金属将被溶解到清洗液中,同时DHF抑制了氧化膜的形成.因此可以很容易地去除硅片表面的Al,Fe,Zn,Ni等金属,DHF也可以去除附着在自然氧化膜上的金属氢氧化物.用DHF清洗时,在自然氧化膜被腐蚀掉时,硅片表面的硅几乎不被腐蚀.

（3）APM (SC-1）：NH4OH/H2O2 /H2O 30～80℃ 由于H2O2的作用,硅片表面有一层自然氧化膜(SiO2),呈亲水性,硅片表面和粒子之间可被清洗液浸透.由于硅片表面的自然氧化层与硅片表面的Si被NH 4OH腐蚀,因此附着在硅片表面的颗粒便落入清洗液中,从而达到去除粒子的目的.在 NH4OH腐蚀硅片表面的同时,H2O 2又在氧化硅片表面形成新的氧化膜.

（4）HPM (SC-2)：HCl/H2O2/H2 O 65～85℃ 用于去除硅片表面的钠、铁、镁等金属沾污.在室温下HPM就能除去Fe和Zn.

清洗的一般思路是首先去除硅片表面的有机沾污,因为有机物会遮盖部分硅片表面,从而使氧化膜和与之相关的沾污难以去除；然后溶解氧化膜,因为氧化层是“沾污陷阱”,也会引入外延缺陷；最后再去除颗粒、金属等沾污,同时使硅片表面钝化.

一楼说得有点大了。。。。德信发、德亿发之类都是主要做硬质合金类铣刀，在台湾铣刀中算中等，不知楼主是否初次接触刀具代理，其它山特、肯纳之类咱暂且不说，因为是做综合性刀具的，也就是说可以全方位的服务。。。说说铣刀品牌吧！总的来说硬质合金铣刀类产品可分为三个档次，第一为欧美，其次是日韩，最后为台湾和国产的，为什么把台湾和国内归为一档呢？因为做铣刀只要材料控制好后现在工艺都差不多，只要有台好的数控工具磨，其它都简单。。。。

给你说说欧美好的铣刀品牌吧，

德国FRANKEN法兰肯：一家有80多年历史的在螺纹加工、铣削加工、领域提供尖端技术的集团公司；

德国GUHRING钴领：成立于1898年，全球第三大旋转刀具制造商；

德国HAM汉姆：拥有50多年的生产设计与制造经验，以高质量、超精密的特点被广泛应用于汽车、航天等领域；

德国Schnell施耐尔：一个享誉全球的德国品牌，在高速铣的精密加工领域，是一颗耀眼的超级名星；

德国prototyp普瑞特：全球领先的铣削工具供应商，创立于1919年，1992年加入瑞典SANDVIK集团，并由此在切削刀具市场中建立了问题终结者的形象，尤其是对不锈钢、钛基镍基合金等难加工材料特别有心得。

瑞士ALESA阿莉萨：专业生产高精密切削刀具；

瑞士fraisa佛雷萨：世界著名刀具生产厂商之一，其高速切削铣刀能为客户提高切削效率，解决切削难题，优化切削方案，降低加工成本；

意大利DELFER戴尔福：主要生产模具加工用铣削刀具；

西班牙Hellon赫龙：创立于1952年，专注致力于整体硬质合金刀具的研发和制造，是欧洲顶级整体硬质合金刀具制造商之；

奥地利WEDCO威德高：主要生产石墨加工用刀具；

荷兰JABRO嘉伯乐：高端整体式铣刀品牌，成立于1976年，2001年纳入山高旗下，专注于生产高质量的整体硬质合；

荷兰VAN HOORN范霍恩：创立于1990年,主要生产高速加工用整体硬质合金立铣刀，倡导高速加工、高效率加工、高切割量加工，1999年生产出第一支石墨加工专用立铣刀。

以色列HANITA赫尼塔：威迪亚旗下品牌，在航空航天行业和医疗器械行业、能源行业占有优势；

美国FULLERTON富而顿：成立于1942年，专注于硬质合金刀具生产设计的厂家，主要应用于航天、汽车工业、工程机械、医疗器械、半导体等行业中；

美国GARR TOOL盖尔：成立于1944年，是美国制造工艺最先进，自动化设备最多的生产整体硬质合金刀具的公司，一直致力于制造最高品质的整体硬质合金切削工具，不仅提供极具竞争力的价格，还提供优质的客户服务，近年来专注于航空制造领域，推出了一系列在航空加工领域的明星产品。

美国MAFORD美福：创立于1919年，整体硬质合金刀具在设计与制造上居于世界领导地位，其卓越的长期稳定性能得到全球航空制造业，国防工业与零件制造商们的首肯；

美国menlo猛龙：1962年开始制造硬质合金刀具，特别是在欧美广泛的用在航空、汽车、模具等行业,2000年被IMCO收购。

当然欧美还有很多独具特色的铣削刀具制造商，此处举出几个。。。

日韩和台湾的不说了，打字累。。。。 还有其他人请别复制我的，我看我在百度的发言网上到处转载。。。

应该是仙童半导体公司（Fairchild Semiconductor），也译作飞兆半导体公司。这家公司曾经是世界上最大、最富创新精神和最令人振奋的半导体生产企业，为硅谷的成长奠定了基础。更重要的是，这家公司还为硅谷孕育了成千上万的技术人才和管理人才，它不愧是电子、电脑业界的“西点军校”，是名副其实的“人才摇篮”。1955年子～57年由8位年龄未满30的年轻人组成仙童半导体公司主要研制半导体材料。早在1962年，仙童半导体公司就在缅因州建立研制和制造晶体管的生产线，主要研制和生产半导体存储器。

---