半导体工艺废气如何处理？

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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水，净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放。

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FFU（Fan Filter Units）, 中文意思为"风机滤器单元（机组）"，是一种自带动力、具有过滤功能的模块化末端送风装置。

将风机和过滤器（高效过滤器（HEPA）或超高效过滤器（ULPA））组合在一起构成自身提供动力的末端净化设备。风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。

ffu可以做成群控ffu，这个就是并联几百台，几千台甚至上万台，通过电脑进行统一调速、联动控制，广泛应用在在光电行业，精密电子，液晶玻璃，半导体，手机等领域的千级无尘室，百级洁净室。

特点：

大多FFU风机过滤机组材质采用进口环保覆铝锌板，永不生锈，耐腐蚀，轻巧坚固，箱体采用黄金分割比例点设计，FFU风机过滤机组美观大方，超薄机身厚度仅为23cm，加上高效过滤器总厚度不超过30cm。

重量仅为24kg，节约空间，方便施工安装和日常维护，FFU风机过滤机组节能效果明显，超低噪音，风压扩散均匀，出风面风速均匀稳定，功耗低运行成本低，工作寿命长达5万小时以上。

FFU风机过滤机组控制采用其公司开发之非接触感应式三档调速，电路均采用电器开关控制，控制安全平稳。

d性、多元化配置除标准机型外，可根据客户需求，制作不同规格的非标产品。如：风管连接法兰、滤网、箱体材质等变更。人性化设计机组附装不锈钢把手，使搬运及安装更为方便快捷。