时间来到现今的2022年,“研究”水平已经比产品水平高了,“研发”更高水平光刻设备的技术积累这个底子增厚了一些。
中国光刻机产品研究已经达到了“中端水平”。国产DUV光刻机产品很快就能成批推出、规模采用,据报道上海微电子研发出的28纳米国产光刻机整机已经安排生产,再过一两年一定能用于国产芯片的生产,而且,按中芯国际梁孟松在2020年就说到的,一定能用于规模量产7纳米芯片,而且良品率还能达到业界标准吧,梁孟松当时说的是只有制造5、3纳米的芯片才“只待”、也就是只需EUV光刻机,梁孟松的话自然是可信的。
现有的EUV光刻机是7纳米的吧,不是已经让台积电以及三星制造出5纳米的芯片了吗。近日,有报道说梁孟松已经“宣布进军7纳米芯片”了,这也可信,按时间节点,肯定是要规模量产7纳米芯片,肯定是采用荷兰ASML卖给的DUV 光刻机。这样一来,中国光刻机产品的水平现在就已经不再是低端的了,在全球,和日本等同了,在同一个端上,当然仍旧显著低于美日韩欧合在一起达到的高端水平,目前的全球顶级水平;
但是在国内,与其他工艺设备的水平等同,还低于中芯国际芯片制造和长电科技芯片封装的高端水平,显著低于华为芯片设计的顶级水平,与苹果、高通以及联发科同样达到了5纳米,不过呢,国产中端光刻机却能分别直接支持中芯国际制造出、长电科技封装出7纳米的国产高端芯片,间接支持华为做出重新搭载高端麒麟芯片的手机,虽然只是、也只能达到7纳米,但肯定够用了。
一、用途
光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。
用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,本次厦门企业从荷兰进口的光刻机就是用于芯片生产的设备。
二、工作原理
在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯片,线路图的层数越多,也需要更精密的曝光控制过程。
扩展资料
光刻机的结构:
1、测量台、曝光台:是承载硅片的工作台。
2、激光器:也就是光源,光刻机核心设备之一。
3、光束矫正器:矫正光束入射方向,让激光束尽量平行。
4、能量控制器:控制最终照射到硅片上的能量,曝光不足或过足都会严重影响成像质量。
5、光束形状设置:设置光束为圆型、环型等不同形状,不同的光束状态有不同的光学特性。
6、遮光器:在不需要曝光的时候,阻止光束照射到硅片。
7、能量探测器:检测光束最终入射能量是否符合曝光要求,并反馈给能量控制器进行调整。
8、掩模版:一块在内部刻着线路设计图的玻璃板,贵的要数十万美元。
9、掩膜台:承载掩模版运动的设备,运动控制精度是nm级的。
10、物镜:物镜用来补偿光学误差,并将线路图等比例缩小。
11、硅片:用硅晶制成的圆片。硅片有多种尺寸,尺寸越大,产率越高。题外话,由于硅片是圆的,所以需要在硅片上剪一个缺口来确认硅片的坐标系,根据缺口的形状不同分为两种,分别叫flat、 notch。
12、内部封闭框架、减振器:将工作台与外部环境隔离,保持水平,减少外界振动干扰,并维持稳定的温度、压力。
参考资料来源:百度百科-光刻机
近年来,半导体芯片产业已成为技术创新的先驱,在世界经济发展中占有越来越重要的地位。完整的半导体芯片行业包括子行业,例如硅片制造,芯片设计和制造以及芯片封装。最上游的是芯片设计公司和硅晶圆制造公司。 芯片设计公司根据客户需求设计电路图,而硅晶片制造公司则以多晶硅为原料来制造硅晶片。 芯片制造公司的中期任务是将由芯片设计公司设计的电路图移植到由硅晶片制造公司制造的晶片上。然后将完成的晶片发送到下游芯片封装和测试工厂进行封装和测试。 半导体芯片材料 是指用于硅晶片制造,芯片制造和封装的电子化学品的总称, 包括硅晶片,光掩模,光刻胶,光刻胶辅助设备,层压基板,引线框架,键合线,模塑化合物,底部填充剂,液体密封剂等等 ,因此,半导体芯片材料是电子工业的广义上游,并在芯片制造和其他下游应用场景中发挥着重要作用。
雅克 科技 最初的主要业务是磷酸酯阻燃剂的研发,生产和销售,上游原料是石油化工产品,例如硝酸盐,环氧丙烷和氯氧化磷。
2016年,公司以收购华飞电子为起点,开始积极转型进军半导体芯片行业;
2017年与韩国Foures成立了雅克·福瑞(Jacques Furui),并扩展到芯片设备方面,生产用于输送前体材料和其他化学品的LDS输送系统;
2018年与江苏(UP Chemical)、科美特合并,开始经营前体/ SOD和氟化特种气体,进军光刻胶行业运营TFT-PR和光刻胶辅助材料,
到2020年,对LG 化学彩胶业务的收购进一步对光刻胶领域发力,并成为覆盖前体/ SOD,氟化特种气体,包装用硅粉和光刻胶的半导体芯片材料平台企业;
公司迄今为止的发展涵盖了半导体芯片薄膜光刻,沉积,蚀刻和清洁的核心领域,下游客户包括世界知名的半导体芯片制造商,如 SK海力士,三星电子,台积电,中芯国际,长江存储等 ,迅速成为了国内半导体材料“平台型”公司。
在半导体芯片材料领域,由于技术壁垒高,长期的研发投入和国内企业的积累不足,我国的半导体芯片材料大多处于国际分工的中低端领域,大部分产品的自给率低于30%,其中绝大多数产品是技术壁垒较低封装材料;在晶圆制造材料领域,国产化的比例较低,主要依靠进口,尤其是高端材料的国产化率小于10%。例如,12英寸大硅片和高端光刻胶基本上都依赖进口,并且进口替代品的空间非常大, 晶圆制造材料的种类很多,其中硅晶圆占37.3%,是最大的类别,其次是电子特殊气体占比13.2%,光掩模12.5%,光刻胶和辅助材料12.2%。
光刻是芯片制造中最重要的部分 ,这是将芯片设计图案从掩模转移到硅晶片,然后执行下一步蚀刻的过程, 成本占芯片制造的30%,时间占50% 。这是集成电路制造中最耗时,最困难的过程。在光刻期间,光刻胶被施加到硅晶片上,紫外线曝光后,光刻胶的化学性质发生变化,然后在显影后去除曝光的光刻胶,以实现从掩模到硅晶片的图形转移, 光刻胶是光刻工艺中的重要消耗品,它的质量和性能直接影响芯片生产线的产量,它是半导体芯片制造的核心材料之一 。
面板光刻胶可分为LCD胶和OLED胶。其中,用于LCD的光刻胶可分为TFT-PR,彩色光刻胶和触摸屏胶。 2019年,公司参股了江苏科特美新材料有限公司(韩国 Cotem)10%的股份。 Cotem的主要产品是TFT-PR和光刻胶辅助材料显影剂,清洁液,BM 树脂等。雅克 科技 通过参股参与了韩国 Cotem的生产和经营管理,并与之建立了长期的业务合作伙伴关系; 2020年2月公司成功收购LG 化学的彩色光刻胶业务,作为LCD色浆和OLED光刻胶的主要供应商之一,LG 化学在业界享有很高的声誉,技术先进,市场占有率很高 。收购后,公司成为LG Display 的长期供应商。从收入的角度来看,LG化学彩色光刻胶2019年实现收入8.65亿元,以国内LCD光刻胶市场为基准, 雅克 科技 有望成为国内LCD光刻胶的第一梯队的龙头企业,通过收购,LG 化学的量产和先进技术生产的光刻胶将在国内市场上具有很大的竞争力,有利于雅克 科技 迅速抢占国内市场份额。
第三季度,公司将其子公司韩国斯洋和韩国COTEM纳入合并报表范围,从而使公司的光刻胶业务带来营收; 2020年前三季度,营业收入为16.83亿元,同比增长23.72%归属于母公司所有者的净利润3.44亿元,同比增长85.17%;
A股上市公司半导体芯片新材料龙头股雅克 科技 处于中长期上升趋势中,整体涨跌结构趋于稳定,机构阶段性多空运作,据大数据统计,主力筹码约为63.16%,主力控盘比率约为55.25%; 趋势研判方面可以将25日均线与40日均线组合作为多空参考。
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