testkey指令是什么意思

测试电键，押码，密码。

testkey指半导体工艺厂在wafer加工中为了监测工艺而加入在wafer固定位置的测试单元。

对专门的测试图形（testkey）的测试，通过电参数来监控各步工艺是否正常和稳定。CP是waferlevel的chipprobing，是整个wafer工艺，包括backgrinding和backmetal（ifneed），对一些基本器件参数的测试，如vt（阈值电压），Rdson（导通电阻），BVdss（源漏击穿电压），Igss（栅源漏电流），Idss（漏源漏电流）等，一般测试机台的电压和功率不会很高。

晶圆特性测试系统由测试仪(tester)与探针台(prober)共同组成，探针台上具有包括多个探针的探针卡，在测试之前的第一步是将探针卡上的探针扎到零点testkey对应的焊垫(pad)上，扎针动作由探针台主导；第一步扎针完成之后，需要在探针台侧进行人工确认扎针对应的零点testkey位置和针迹效果，人工确认没有问题之后开始由测试仪主导进行自动测试。tester系统为相对坐标计算，所有坐标以零点testkey为原点，所以探针台准确扎针至零点testkey至关重要。

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