2022-01-07Nanospray Advance技术

大日本网屏此前销售过半导体工艺用清洗装置“SS-3100”等，这些装置都配备了向晶圆表面喷射液体超微粒子的喷射清洗技术“Nanospray2”。不过，32nm以后的工艺方面，随着工艺的微细化，电路图案的尺寸越来越细，使用以前的技术进行喷射清洗时，电路图案遭到破坏的危险性越来越大。比如，在以前的技术中，液滴的大小、喷射速度及喷射方向等不均匀。因此，为确保清洗能力，需要使液滴的大小和喷射速度的平均值保持在一定值以上，这样就会含有尺寸大且喷射速度高的液滴，从而导致图案的损坏。

对此，DNS在继承Nanospray2技术基本思路的基础上，开发出了分别控制液滴大小、喷射速度及喷射方向的“Nanospray Advance”技术。新开发出了可逐粒喷射大小相同的液滴的喷头，利用该喷头抑制了液滴的尺寸、喷射速度及喷射方向的不均现象。由此，可将液滴能量的不均匀性降至1/100左右，并能够在确保清洗能力的同时抑制对电路图案的损坏。喷头可喷射的液滴量为数千万粒/秒。

“Nanospray Advance”清洗技术将在2010年12月举行的“SEMICON Japan 2010”上展出。另外，在此次的SEMICON Japan上，DNS还将把LED及功率半导体用晶圆清洗装置“CW-1500”作为新产品展示，并参考展出高亮度LED用纳米压印装置“XI-1000”。此外，还预定展出“SU-3100”“FC-3100”“SS-3100”等各种清洗装置、闪光灯热处理装置“LA-3000-F”、涂布显像装置“SOKUDO DUO”以及结晶类太阳能电池PSG膜气相清洗装置“RS-C810A/810L”等。

比较忙.。

DNS是厂商名字，中文叫迪恩士，就是化学清洗槽（也叫酸槽/化学槽），主要有HF,,H2SO4,H2O2，HCL等酸碱液体按一定比例配置，目的是为了去除杂质，去离子,去原子，最后还有DI清洗。IPA是异丙醇，就是工业酒精，是用来clean机台或parts的，是为了减少partical的。

TEL

[tɛl]

abbr. 试验仪器清单（Test Equipment List）

n. (Tel)人名；(土)泰尔；(阿拉伯)塔勒

电话(T E Lephone) 联系电话 电联络电话

Tel就是英文telephone的简写中文意思：电话机，打电话例句与用法: 1. I have to make a telephone call. 我必须打个电话。 2. I telephoned to thank her/his. 我打电话向她/他道谢。 3. You can always reach (ie contact) meby telephone. 你打电话随时都能找到我. 4. They've just moved and they're not on the telephoneyet. 他们刚搬的家, 还没接通电话. 5. We must telephone our congratulations (to the happy couple). 我们得（给那对幸福的夫妇）打个电话表示祝贺. 6. Will you write or telephone? 你写信还是打电话? 7. She's on the telephone at the moment. 她正在打电话. 8. You're wanted (ie Somebody wants to speak to you) on the telephone. 你的电话（有人打电话找你）。

TEL（Tokyo Electron Ltd.的简写）日本的一家半导体设备制造，研发公司，全球第二大半导体设备供应商。

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tel域名已经新增数字TEL

Tel telmere的缩写，染色体的端粒

TEL是以色列第二大城市特拉维夫的缩写

TEL是四乙基铅的缩写，上世纪80年代前的一种汽油添加剂

TEL 也是导d一体化发射车的简称

TEL军用发射车 运输-起竖-发射一体的三用军事发射车(英文缩写)

TEL 特仑苏 牛奶品牌的简称

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