现在的半导体用硅片一般厚度是多少?

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对集成电路来说:一般来说4寸晶圆的厚度为0.520mm,6寸晶圆的厚度为

0.670mm左右。晶圆必须要减薄,否则对划片刀的损耗很大,而且要划两刀。我们做DIP封装,4寸晶圆要减薄到0.300mm;6寸晶圆要减薄到0.320mm左右,误差0.020mm。

【太平洋汽车网】新能源汽车需要半导体芯片,汽车芯片制造的技术要求并不高,相比手机芯片达到5nm这个精度,汽车芯片比较常用的却是28nm、45nm、65nm的12英寸晶圆体以及0.18um的晶圆体。

为什么我们买不到想要的车?为什么汽车行业普遍都在缺芯片?

制程要求不高,但良品率更为严苛对于大多数人来说,最常听到芯片的场景就是我们的数码产品,无论是购买手机时的“苹果A14”、“高通骁龙处理器”,亦或者是在购买电脑时候的英特尔、AMD等,我们似乎常常能听到这个词,甚至有不少发烧友能细数7nm、10nm制程工艺的不同之处,芯片离我们似乎并不遥远。

手机行业作为消费领域的高集成度行业,对于芯片的技术要求极高,5nm这个级别的制程全球也仅有几家晶圆厂可以制造,但汽车芯片可不同。

从汽车电子产业链上来看,晶圆厂制造不同规格的晶圆体(不同制程的8英寸、12英寸晶圆体)提供给零部件巨头们,接着零部件供应商生产出对应控制器或者处理器(常见的有MCU、CMOS图像传感器、各类ADAS辅助类芯片、传感器等),再交付给整车厂进行组装。

不过事实上,汽车芯片制造的技术要求并不高,相比手机芯片达到5nm这个精度,汽车芯片比较常用的却是28nm、45nm、65nm的12英寸晶圆体以及0.18um的晶圆体。

但是,汽车芯片和数码产品芯片最大的两个不同便是在于超高的良品率,以及因工作环境不同而更为严苛的产品可靠性。

汽车作为直接关系到驾乘人员人身安全的交通工具,在电子器件越来越多的情况下,汽车芯片的良品率要求极高——你试想一下,如果负责ACC自适应巡航的芯片以及传感器是残次品,在实际使用中发生故障很可能会直接造成人员伤亡,所以汽车厂家对于零部件的要求不仅有着严苛的检查筛选机制,还有在制造阶段就达到百万分之一这样的良品率。

(图/文/摄:太平洋汽车网问答叫兽)

数字信息化时代的到来加速了硅基芯片更新换代的速率,为了满足设备对大数据运算的需求,芯片厂商采用传统的“增加硅晶体管数量”的方式来提高芯片性能,延续摩尔定律。但硅基芯片的内置可用规格逐渐逼近天花板,寻找一种能够替代硅元素地位的新型元素,成为未来半导体进步的必要前提。

我是柏柏说 科技 ,资深半导体 科技 爱好者。本期为大家带来的资讯是:IMEC举办的IEEE会议。延续摩尔定律,2纳米以下芯片的关键原料,决定未来半导体发展方向的国产石墨烯技术。

老规矩,开门见山。针对硅基芯片内置规格有限,IMEC在2021年召开的“IEEE国际芯片导线技术会议”提出了几种可用来延续未来摩尔定律的异质整合方法。值得一提的是:IEEE会议提出的异质整合方法大多都是建立在石墨烯材料基础上的。

口说无凭,IMEC在IEEE会中提出的异质整合方法有哪些呢?芯片制造后端制程采用通孔混合异端金属布线、半镶嵌制程、零通孔结构解决因硅基晶体管数量增多产生的布线拥塞,讯号迟缓问题。由于石墨烯材料具备优良的导电性、导热性以及电子活泼性等良好特性;成为IEEE的首选研究对象。

其它质量因素采用钴、钌、钨、铝镍合金、钌钒合金等有序二元介金属化合物代替传统的硅晶圆,用来解决导线层布线冗杂等布局问题。补充一点,这里说的质量因素指代块材电阻与金属内部载子平均自由路径。需要注意的是,上述提到的这些都是建立在“将石墨烯材料作为金属材料的氧化阻障层、超薄扩散阻障层”的理论模型上的。

也就是说,IMEC在IEEE会中提出的异质整合方法,其包含的能够解决2纳米以下制程芯片导线冗杂方法,诸如在铜等金属中混杂石墨烯或是在掺杂金属元素的方案,其作用对象都是石墨烯材料。之所以朝石墨烯中加入金属元素,是为了提高石墨烯的载流子浓度。需要注意的是,石墨烯材料是导电的,但是石墨烯的导电率是由电子迁移率决定的。

研究中,IEEE将包含化学气相沉积的多层石墨烯薄膜,成功转移到5纳米的钌金属薄膜上,将钌与石墨烯制程组件结构,发现石墨烯可以完全的依附在钌金属薄膜上。这也证明了石墨烯材料可以通过掺杂金属物的方式,来将其用于高精尖芯片的制造中。包括后续对钌、石墨烯制成物进行封装等试验过程,全都在一定程度上证实了石墨烯将可能成为未来延续摩尔定律的最佳材料。

与我们在锗基、硅基等第一代半导体材料中被国外核心技术“卡脖子”的处境不同;我国在第二代、第三代半导体材料中的技术位居世界一流。而属于第三代半导体材料的石墨烯,是我国未来发展半导体行业的“一张王牌”。中科院早在2020年10月16日,便已经实现了8英寸石墨烯晶圆的量产。

毫不夸张地说,石墨烯有望成为用于延续未来摩尔定律的新型材料,我国的石墨烯技术将成为未来全球半导体原材料的重要组成部分。这次IEEE通过将钌、钴等元素混杂到石墨烯晶圆中的试验,也为后续半导体产业链朝石墨烯方向变更提供了一定的基础理论。

拿目前我国实现产业链自主化的28纳米制程举例;石墨烯材料优于硅基材料的内置架空性与导电性、散热性,决定了石墨烯芯片优于硅基芯片。同为28纳米制程的石墨烯芯片,其性能是硅基芯片的5~10倍。也就是说,28纳米制程的石墨烯芯片,其性能表现媲美采用5纳米到3纳米制程的硅基芯片。

简单来说,如果日后石墨烯晶圆能够实现大批量生产,与之相匹配的产业链逐步完善。我们完全可以避开国外的EUV光刻机,来生产出质量更优、性能更高、成本更低的芯片。毕竟我国是第一个实现8英寸晶圆量产的国家。

当然,以目前的现状来看,硅基半导体芯片依旧是主流。28纳米制程的半导体芯片占半导体芯片市场的60%。但不同于硅晶体提炼方法,高质量的石墨烯材料其适宜的成长温度在900 到1000 之间。此外,通过加入金属元素来提高电阻的做法虽说可以有效控制石墨烯材料的电子活性,但对比硅基材料,石墨烯材料的时间、经济成本都比较高。

虽说不如云南大学的硫化铂成本高,但对于一家企业来说,设备链更替所需要的成本已经够高了。更何况用于芯片制造的原料,其量产规模很大。额外的成本往往也是很多企业难以承受的。例如中芯国际曾在客户互动平台上表示(上图),考虑到时间、资金成本,公司暂无石墨烯晶圆业务。

我们应该在继续发展硅基半导体的基础上,着手未来石墨烯晶圆设备链的攻坚,着眼未来的同时也要把握当下。祝愿国产半导体厂商愈发强大,在半导体领域中早日掌握核心技术。

对于“国产半导体行业日趋成熟的石墨烯技术”,大伙有什么想说的呢?你认为石墨烯技术能否助力我国在半导体领域中实现高精尖制程芯片自给自足的目标呢?欢迎在下方留言、评论。

我是柏柏说 科技 ,资深半导体 科技 爱好者。关注我,带你了解更多最新的半导体资讯,学习更多有用的半导体知识。


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