半导体工艺废气如何高效处理？

半导体酸碱废气处理方法

半导体行业酸碱废气处理通常采用液体喷淋法，又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而达到大气排放标准，故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

半导体有机废气处理方法

半导体行业有机废气处理方法，通常先用沸石转轮对VOCs进行吸附浓缩之后，再用直接燃烧法进行销毁，废气净化率达到97%以上。

直接燃烧又称为直接火焰燃烧，它是把VOCs可燃组分直接烧掉，因此该方法适用于净化可燃有害组分浓度较高的废气，或者净化有害组分燃烧时热值较高的废气；多种可燃气体或多种溶剂蒸气混合在废气中，只要浓度值适宜，也可以直接燃烧。如果可燃组分的浓度高于燃烧上限，可以混入空气后燃烧；如果可燃组分的浓度低于燃烧下限，则可以加入一定数量的辅助燃料如天然气等，维持燃烧。

半导体工艺废气处理前最好是检测一下各项是否符合指标，然后根据检测的结果进行相应的处理，量化检测在这方面有着严格的检测标准，能快速的得出检测结果，然后就可以根据相应的数据指标进行处理，具体情况你可以在百度一搜就知道了。

需要。

对于半导体生产 *** 作，空气许可也是必要的。许可证要求将取决于设施的位置和废气的含量。空气许可证定义了维持许可证的报告、监控和记录保存要求。

所有这些不同的半导体应用都有一个共同因素：由应用决定的电性能要求。半导体是一种具有中等导电率的材料，因此有半前缀。

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