求助6寸Thermco炉管LPCVD(NIT)淀积压力不稳

求助6寸Thermco炉管LPCVD(NIT)淀积压力不稳,第1张

尝试着回答一下 我是做12寸的,可能和6寸有所不同。你们的淀积步骤的控压是闭环控制的,对么?设定压力250,上下限分别为250+/-37? 有反复测试过通N2的时候能控压吗? 根据你所描述的现象,可以怀疑一下几点:1.真空泵有问题,抽气能力不稳定。2. 压力控制器有信号干扰,或者是信号线有松动。3. 压力表不稳定,或者是压力表前端管路有堵塞。

SiC材料是一种疏松多孔的材料,很容易储藏一层水汽等,如果有水汽的话,你的drive in 和diffusion就难以控制了。当应用于高温drive in和LPCVD Poly等工艺时,SiC材质还需要CVD coating。温度为1100以上,时间根据你是否刚清洗完或日常处理而定

具体来说:

扩散分为炉管、离子注入、快速退火,氧化,清洗,膜厚量测

光刻分为track(涂胶、显影),scanner(曝光),ADI,即显影后检查(目检、CD、OEVER LAY),需要在黄光环境下工作

薄膜分为:CVD(化学气相沉积),PVD(物理气相沉积),CMP(化学机械研磨),EPI(外延)

刻蚀分为湿法刻蚀,干法刻蚀,AEI(刻蚀后检查),烘烤,清洗

位置在特斯拉旁边,目前来说属于比较偏的地方了,出去什么也没有。因为离海不到3km,所以晚上风比较大。

住宿的地方属于公租房,一个月250,不含水电费。因为好几个住宿地点,所以上下班有班车,到公司有二三十分钟左右吧,工程师住得近,最近的15分钟。制造部远一些,不过在泥城镇里面,相对繁华一些。

上班正常时间早上八点半开会到下午五点开会,五点半下班,中午11:30-1:00吃饭休息。当然到点就走的情况不多,有时候、有的部门开会时间会到6点,8点才下班。

工程部和制造部有夜班,频率看部门,半个月到一个月不等。晚八点到早八点,上二休二,时长8天到1个月不等。制造部的话上班时间会非常早,7点40到无尘室里面,晚上8点出无尘室。

工作环境上,目前有两栋楼,分别为办公楼和fab(一楼是fa工作的地方),TD和PIE基本上有事必须进fab才会进,各个module的工程师是经常需要经进去的,制造部更是日常都在里面,只有中午会安排一间小会议室在里面休息。办公室基本上就是格子间,几十人最多一两百人在一起办公,领导会在小隔间。fab里面除了工作什么都不能干不能带,喝水上厕所是个问题,所以不能喝太多水,有时候长时间站立也不好受

人员方面,从班车和吃饭的时候周围的人的闲聊来看,不少人特别是小领导,都是中芯过来的,或者有在中芯工作经历,华虹也有,不过比较少。

工作当中基本上都是英文的,而且有大量缩写,汉语的很少,这点对于刚来的会比较难受

因为24小时不停,靠产量赚春节等节假日有可能会安排值班,出现异常就得去里面解决,不在公司甚至可能会叫你过去,时间长的有可能会错过午饭。为了确保达成某个阶段性目标,也可能需要早起,当然部门吧不一样,要求也不一样。

流动性上看,还是挺大的,一年时间进进出出700人左右吧,当然主要是制造部的。毕竟目前处于扩张期,人员设备制度上必然没有那么成熟,所以目前招聘要求也没什么,只要学历符合岗位,专业实际上绝大多数不做太严格要求,如果要求过高就更找不到人了。

关于设备工程师,不管在哪个半导体工厂,都是最辛苦的岗位之一,因为设备属于最重的资产,除了直接负责的本部门,全厂其他的不少部门也需要围着设备转,所以设备工程师越往上要求越高,既要懂设备,也要会和各种各样的人打交道。对于低级别的人来说,基本上就是干活,所以女生几乎绝迹,当然工资也高些。每天的巡检管路、点检设备,处理设备报警,例行保养,装机、设备、零件、原材料的采购,盯厂商进度,沟通(吃饭),有时候也需要和厂务和Esh部门打交道(安全检查/应急演练),各种计划表的制定和调整。往上升的话,就是机台owner(负责人),一般有一主一辅,从辛苦程度和压力上来说并不会减少,反而会更大一些,比如有的机器半夜报警就必须得去至少一个人,即使可以不去,问题不解决,也别想睡安稳觉;周末和厂商预约好时间维修,周末必须得在旁边盯着。有付出就有回报,如果后面跳槽转到工艺的话,未来晋升优势会大一些;即使继续搞设备,日积月累的东西,后来者很难撵上的;也有跳厂商的。

其实上述不少东西并不是一家公司的特色,而是整个行业都会或多或少存在这种现象


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