荷兰ASML公司 (全称: Advanced Semiconductor Material Lithography,目前该全称已经不作为公司标识使用,公司的注册标识为ASML Holding N.V),中文名称为阿斯麦(中国大陆)、艾司摩尔(中国台湾)。
这是一家总部设在荷兰艾恩德霍芬(Veldhoven)的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂积体电路生产企业提供领先的综合性关键设备。ASML的股票分别在阿姆斯特丹及纽约上市。
基本介绍中文名 :ASML 外文名 : Advanced Semiconductor Material Lithography 注册标识 :ASML Holding N.V 中文名称 :阿斯麦、艾司摩尔 公司简介,产品服务,技术前景,市场份额,在中国,相关事件,收购睿初科技,收购Cymer, 公司简介 总部位于荷兰艾恩德霍芬(Veldhoven),欧洲人均科研经费排名第二的高科技公司。2010年,其全球净销售收入超过45亿欧元。2011年,卖出222套机器,全球净销售收入56.51亿欧元,净利润14.67亿欧元。 ASML在欧洲、亚洲及美国的50多个地区拥有9245名员工,其中固定员工7184(欧洲4202,亚洲1538, 美国1444),男女比例为9:1。截止2011年,全球市场占有率75%。 中国分公司地址:上海市张江高科技园区松涛路560号A栋17楼。 ASML总部,荷兰Veldhoven 产品服务 ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,套用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,比如英特尔(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),台积电(TSMC),中芯国际(SMIC)等。 ASML的产品线分为PAS系列,AT系列,XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源为高压汞灯光源,现已停产;AT系列属于老型号,多数已经停产。市场上的主力机种是XT系列以及NXT系列,为ArF和KrF雷射光源,XT系列是成熟的机型,分为乾式和沉浸式两种,而NXT系列则是现在主推的高端机型,全部为沉浸式。 目前已经商用的最先进机型是Twinscan NXT 1950i,属于沉浸式光刻机,用来生产关键尺度低于38纳米的积体电路。 TWINSCAN系列 ASML正在加紧研制基于极紫外(EUV)光源的新型光刻机,型号定为NXE系列。如果量产成功,将成为划时代的产品,有望将关键尺寸缩小至10nm以下,并且可以显著提高积体电路质量。 技术前景 除了目前致力于开发的TWINSCAN平台外,ASML还在积极与IMEC, IBM等半导体公司合作,开发下一代光刻技术,比如EUV(极紫外线光刻),用于关键尺度在22纳米甚至更低的积体电路制造。目前ASML已经向客户递交若干台EUV机型,用于研发和实验。同时,基于传统TWINSCAN平台的双重曝光等新兴技术,也在进一步成熟和研发过程当中。07年末三星(Samsung)宣布成功生产的36纳米快闪记忆体,基于的便是双重曝光技术。 市场份额 目前市场上提供量产商用的光刻机厂商有三家:ASML, 尼康(Nikon),佳能(Canon)。 根据2007年的统计数据,在中高端光刻机市场,ASML占据大约60%的市场份额。而最高端市场(例如沉浸式光刻机),ASML大约目前占据80%的市场份额。不过,竞争对手尼康也在奋力追赶,主要优势在于相对较低的价格。 在中国 ASML一直致力于中国市场的拓展与合作,包括香港在内目前已经在北京,上海,深圳,无锡等地开设分公司,为客户提供及时的服务和咨询。随着公司业务的扩大和中国半导体产业的发展,相信大连,成都,重庆,武汉等新兴的半导体基地也会纳入ASML的版图之内。ASML有信心和中国半导体从业者一道,为技术创新和市场拓展开辟道路。目前ASML已经与浙江大学,大连理工大学,哈尔滨工业大学,上海交通大学等著名高等学府签定奖学金及科研合作协定,为培养本地人才,做出自己的一份贡献。 相关事件 收购睿初科技 brion ASML于07年正式完成对美国睿初(Brion)科技的收购,使之成为旗下重要一员。睿初科技是建立在美国矽谷的高科技公司,致力于计算光刻等方面的服务,用于检测光刻缺陷及提出相应修正解决方案,在同行业中处于领跑位置。 睿初科技总部位于美国加州Santa Clara。 收购Cymer ASML于2012年10月宣布收购美国Cymer公司,以加快EUV的研发进度。Cymer公司是世界领先的准分子雷射源提供商,发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外(DUV)光源。产品主要特性是:频宽窄,运行速度高,可靠性强。Cymer光源在批量生产符合特定规格的的世上最先进的半导体晶片时起著决定性的作用。
众所周知,光刻机是生产芯片的必要设备;虽然说一颗小小的芯片看上去只有指甲盖大小,但是在芯片的内部却含有上亿个晶体管线路,想要完成芯片的生产,靠人眼很显然是无法完成的,而光刻机利用极紫外光源等技术就可以轻松的完成芯片的生产;目前全球领先的光刻机技术几乎都被荷兰ASML公司所垄断,随着市场需求的不断增加,也让荷兰ASML公司赚得是盆满钵满!
光刻机有钱也买不到
作为光刻机领域得分霸主企业,ASML公司的手中也掌握着很多先进的光刻机生产技术,其生产的EUV光刻机是生产7nm工艺以下芯片的必要设备,依靠着EUV光刻机,台积电和三星都已经实现了7nm和5nm芯片的大规模量产;虽然说一台先进的EUV光刻机的售价高达10亿,但在市场上依然是供不应求的,而且有钱也并不一定能买到EUV光刻机!
ASML光刻机出货受限
我国 科技 企业很早就向ASML公司预定了一台EUV光刻机,但一直到现在也没有发货,而这一切都是因为ASML公司生产的光刻机核心技术中含有美国技术,所以ASML公司光刻机的发展也需要受到美国的限制;值得一提的是ASML公司在老美的要求下,还将总部搬到了美国市场办公,这也将更加限制住ASML公司生产的EUV光刻机的出货!
美专家:ASML的时代正在结束
要知道,老美在多次修改芯片规则以后,也导致全球芯片市场都出现了短缺的情况,这一次全球市场的“芯片荒”也直接让大家都认清了老美的真面目,并意识到了发展半导体产业的重要性,所以中国、日本、欧盟都国都在大力的发展自主芯片产业链,并加快了对光刻机技术的突破,对此美专家也表示:ASML的时代正在结束!美专家之所以这么说,主要还是因为有以下几方面的原因!
光刻机技术加速突破
首先,ASML公司在相关规则的限制下,一直都无法自由出货,这将严重的影响ASML公司在全球光刻机市场上的发展,这也将直接倒逼着大家都开始加速研发光刻机的脚步,其中日本的佳能和尼康这两个老牌的光刻机巨头企业已经宣布将重新进入光刻机领域发展,最快将在2023年研发出一台先进的3D光刻机,另外,还有俄罗斯也正在计划研发先进的光刻机技术,并使用比ASML公司所生产的EUV光刻机使用的极紫外光源波长更短的X射线来研发光刻机;可以说日俄所研发的光刻机技术都是要比ASML公司的光刻机技术更加先进的!
另外,还有台积电、三星、苹果等芯片厂家也在加快对封装工艺技术的研发,想要以此来摆脱对台积电已经ASML公司光刻机的依赖,在先进封装工艺技术的加持下,苹果已经利用重叠技术将两块芯片给封装在一起,并实现了性能的超越,而我国的华为也正在研究这一重叠技术,有了这一技术以后,那么也技能有效的降低对ASML公司EUV光刻机的依赖!
最后,新的芯片技术和材料也正在加速发展中,让EUV光刻机的时代也正在逐渐走向结束;要知道,现在的半导体芯片的发展都是需要遵循摩尔定律的,当达到了1nm以后就逼近了物理极限,所以科学家也一直在研发新的替代技术和材料,其中光电芯片就已经成为了很多国家 科技 团队所研发的重点,只要下一代芯片技术取得突破,那么依赖于光刻机的半导体芯片也将被逐步淘汰;所以综合来看,在未来的芯片市场上,光刻机不会再那么的重要,而ASML公司也不会再一家独大,正如美专家所说:ASML的时代正在结束!
1、荷兰ASML公司 (全称: Advanced Semiconductor Material Lithography,目前该全称已经不作为公司标识使用,公司的注册标识为ASML Holding N.V),中文名称为阿斯麦(中国大陆)、艾司摩尔(中国台湾)。
2、光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
扩展资料
光刻机工作原理
在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯片,线路图的层数越多,也需要更精密的曝光控制过程。
参考资料来源:百度百科—ASML
百度百科—光刻机
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