半导体物理学的载流子输运

半导体物理学的载流子输运,第1张

半导体的输运现象包括在电场、磁场、温度差等作用下十分广泛的载流子输运过程。和金属导体相比,半导体的载流子不仅浓度低很多,而且数量以及运动速度都可以在很广的范围内变化。因此半导体的各种输运现象具有和金属十分不同的特征。 在常见的半导体中,载流子主要是掺在半导体中的浅能级杂质提供的。主要由浅施主提供的电子导电的半导体称为N型半导体;主要由浅受主提供空穴导电的半导体称为P型半导体。由于在任何有限温度下,总有或多或少的电子从价带被热激发到导带(本征激发),所以无论N型或P型半导体中都存在一定数量的反型号的载流子,称为少数载流子,主导的载流子则称为多数载流子。温度足够高时,由价带热激发到导带的电子可以远超过杂质提供的载流子,这时参与导电的电子和空穴的数目基本相同,称为本征导电。

半导体导电一般服从欧姆定律。但是,和金属中高度简并的电子相比,半导体中载流子的无规热运动速度低很多,同时由于载流子浓度低,对相同的电流密度,漂移速度则高很多。因此,在较高的电流密度下,半导体中载流子的漂移速度可以达到与热运动速度相比,经过散射可以转化为无规热运动,使载流子的温度显著提高。这时半导体的导电偏离欧姆定律。热载流子还可以导致一些特殊效应。例如,某些半导体(如砷化镓、磷化铟)在导带底之上,还存在着能量略高而态密度很大的其他导带极小值。在足够强的电场下,热载流子会逐渐转移到这些所谓次极值的区域(指k空间),导致电场增大而漂移速度反而下降的负微分迁移率现象(见转移电子器件)。 通有电流的导体,在垂直磁场作用下,由于磁场对漂移载流子的偏转力而产生的侧向的电压,称为霍耳效应。由于在相同的电流密度下载流子的漂移速度和载流子的浓度成反比,所以,和金属相比半导体的霍耳效应十分显著,而且可以方便地用于测定载流子的浓度。霍耳效应的符号直接反映载流子电荷的符号,所以霍耳效应的测量还可以区别N型和P型导电性。

与金属中高度简并的电子不同,一般半导体中载流子的热运动显著依赖于温度,因此,半导体还表现出远强于金属导体的温差电效应(见温差发电和致冷)。

光照射在半导体内产生的电子和空穴构成多余的载流子,称为非平衡载流子。用电学方法(如通过金属-半导体接触或PN结,见下文)也可以在半导体中引入非平衡载流子。在电场作用下,非平衡载流子同时参与导电,构成附加的导电性。光照射产生的附加电导称为光电导。作为非平衡载流子的电子和空穴可以直接复合(即电子直接跃迁到价带中代表空穴的空能级),也可以通过复合中心复合,称为间接复合。非平衡载流子在复合之前平均存在的时间称为寿命,在这个时间中通过布朗运动平均移动的距离,称为扩散长度。 半导体表面的空间电荷可以看做是由于屏蔽垂直表面的电场而造成的,表面电场一般是由于各种表面的具体情况而引起的。如果电场的方向是驱赶载流子向体内,空间电荷区格外显著。这种情况下的空间电荷区是由载流子被排走所余下的电离杂质的电荷构成的,称为耗尽层。由于电离杂质电荷的浓度是固定的,随着表面电场增强,屏蔽它所需的电荷必须成正比地增大,这就意味着表面空间电荷区加宽。有控制地施加表面电场的办法是在半导体表面形成薄的绝缘层(如对半导体氧化形成薄的氧化层),在它上面做电极并加相应的电压。这种用于控制半导体表面的金属-绝缘体-半导体系统简称MIS(如果绝缘层采用氧化物,则称MOS)。

表面电场在排斥多数载流子的同时,也会吸引少数载流子,所以在MIS上加有足够大的电压时,会在半导体的极表面出现一个由少数载流子导电的薄层。它与半导体内部之间隔有空间电荷区,其中多数和少数载流子极为稀少,基本上是“耗尽”的。这种由反型载流子导电的薄层称为反型层。反型层也被称为导电沟道,以表明载流子的流动限于极狭窄的区域,如P型半导体表面的反型层称为N沟道,N型半导体表面的反型层称P沟道。当这种表面反型层很薄,其中载流子在垂直表面的方向是量子化的(从波动的观点看,是沿这个方向的驻波),载流子的自由运动只限于平行于表面的二维空间。在这种二维运动的研究中,把反型层中的载流子称为“二维电子气”。 在不同半导体之间,或半导体和金属直接连接时,它们之间的接触电势差意味着,它们的界面处是电势突变的区域,其中存在垂直于界面的电场和相应的空间电荷区。在它们之间施加电压时,电压主要降落在空间电荷区上,电压和通过空间电荷区的电流一般呈现非线性的伏安特性。

同一块半导体,由于掺杂不同,使部分区域是N型,部分区域是P型,它们的交界处的结构称为PN结。在 PN结的空间电荷区的P型一侧加正电压时(正向电压),会部分抵消接触电势差,使空间电荷区变窄,并使P区的空穴流向N区,N区的电子流向P区,这种来自多数载流子的电流随施加的电压迅速增长。加相反的电压时(反向电压),会使空间电荷区变宽,P区和N区电势差增大,这时的电流来自双方的少数载流子(N区的空穴流向P区,P区的电子流向N区),所以电流很小,而且随电压增加,很快达到饱和。 PN结两边掺杂浓度越高,接触电势差V0越大。当接触电势差增加到电子通过PN结所得到(或失去)的能量eV0超过禁带时,PN结的能带具有图10所示的情形。这时N区导带的电子可以直接穿入P区价带的空能级(空穴)。这种电子直接穿透禁带从导带的价带(或其逆过程)的现象称为隧道效应;这种高掺杂浓度的PN结称为隧道结。

半导体的表面是半导体物理研究的一个重要对象。半导体表面并不是一个简单的几何界面,而是具有自己独立特征的一个体系。在超高真空下对纯净半导体表面的研究以及理论计算都证明,在半导体表面一般存在表面电子态,处于表面电子态中的电子的运动被限制在极表面的二维空间中。另外,最表面层的原子的位置也发生典型的变化。一般表面原子层之间的间距和体内相比,发生一定的变化,称为表面弛豫。与此同时,原子在表面层中的排列的周期性和键合方式都可以发生典型的变化,统称为表面再构。再构的变化是一种相变过程,对半导体表面的物理和化学性质都有深刻的影响。 对非晶态半导体的研究只是近年来才有较大的发展。有一些非晶态的半导体属于玻璃态物质,可以由液态凝固获得,通过其他的制备工艺(如蒸发、溅射、辉光放电下淀积等)也可以制成非晶态材料。非晶态半导体的结构一般认为是由共价键结合的“无规网络”,其中每个原子与近邻的键合仍保持与晶体中大体相同的结构,但失去了在空间周期性的点阵排列。非晶态半导体与晶态半导体既有相似的特征,又有十分重要的区别。如非晶态半导体的本征吸收光谱与晶体半导体粗略相似,表明大部分的能级分布与晶体的能带相似。但是,在导带底和价带顶部都有一定数量的“带尾态”;一般认为它们是局域化的电子态。另外,连续分布在整个禁带中还有相当数目的所谓“隙态”,隙态的多少和分布都随材料和制备方法而不同。

非晶态半导体的导电具有复杂的性质,一般在较低温度是通过载流子在局域态之间的跳跃,在较高的温度则是依靠热激发到扩展态的载流子导电,但其迁移率比在晶体半导体中低很多。

N型半导体(N为Negative的字头,由于电子带负电而得此名):掺入少量杂质磷元素(或锑元素)的硅晶体(或锗晶体)中,由于半导体原子(如硅原子)被杂质原子取代,磷原子外层的五个外层电子的其中四个与周围的半导体原子形成共价键,多出的一个电子几乎不受束缚,较为容易地成为自由电子。于是,N型半导体就成为了含电子浓度较高的半导体,其导电性主要是因为自由电子导电。 P型半导体(P为Positive的字头,由于空穴带正电而得此名):掺入少量杂质硼元素(或铟元素)的硅晶体(或锗晶体)中,由于半导体原子(如硅原子)被杂质原子取代,硼原子外层的三个外层电子与周围的半导体原子形成共价键的时候,会产生一个“空穴”,这个空穴可能吸引束缚电子来“填充”,使得硼原子成为带负电的离子。这样,这类半导体由于含有较高浓度的“空穴”(“相当于”正电荷),成为能够导电的物质。在一块完整的硅片上,用不同的掺杂工艺使其一边形成N型半导体,另一边形成P型半导体,那么在两种半导体的交界面附近就形成了PN结。在P型半导体和N型半导体结合后,由于N型区内电子很多而空穴很少,而P型区内空穴很多电子很少,在它们的交界处就出现了电子和空穴的浓度差别。这样,电子和空穴都要从浓度高的地方向浓度低的地方扩散。于是,有一些电子要从N型区向P型区扩散,也有一些空穴要从P型区向N型区扩散。它们扩散的结果就使P区一边失去空穴,留下了带负电的杂质离子,N区一边失去电子,留下了带正电的杂质离子。半导体中的离子不能任意移动,因此不参与导电。这些不能移动的带电粒子在P和N区交界面附近,形成了一个很薄的空间电荷区。在出现了空间电荷区以后,由于正负电荷之间的相互作用,在空间电荷区就形成了一个内电场,其方向是从带正电的N区指向带负电的P区。显然,这个电场的方向与载流子扩散运动的方向相反,阻止扩散。另一方面,这个电场将使N区的少数载流子空穴向P区漂移,使P区的少数载流子电子向N区漂移,漂移运动的方向正好与扩散运动的方向相反。从N区漂移到P区的空穴补充了原来交界面上P区所失去的空穴,从P区漂移到N区的电子补充了原来交界面上N区所失去的电子,这就使空间电荷减少,内电场减弱。因此,漂移运动的结果是使空间电荷区变窄,扩散运动加强。最后,多子的扩散和少子的漂移达到动态平衡。在P型半导体和N型半导体的结合面两侧,留下离子薄层,这个离子薄层形成的空间电荷区称为PN结。PN结的内电场方向由N区指向P区。在空间电荷区,由于缺少多子,所以也称耗尽层。


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