半导体工艺废气如何处理？

√ 楼主您好，根据您提出的问题，下面为您做详细解答：

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水，净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放。

希望此次回答对您有所帮助！

RTO技术是一种常见的治理有机废气方法，其工作原理是在高温条件下将有机废气燃烧氧化成相应的氧化物和水，进而达到净化废气的作用。今天康景辉我就带你详细认识一下RTO技术的优缺点：

RTO技术的优点：

1、RTO技术能处理不同组成成分、不同浓度的VOCs，对废气中的少量灰尘、固体颗粒不敏感，可用来处理含有有机化合物的几乎所有废气；

2、可定期地清理有机沉淀物，并更换蓄热体，装置使用寿命较长，维护工作量小、 *** 作安全可靠；

3、废气浓度在2~3g/m³的情况下，不需添加辅助燃料就能实现自供热 *** 作；

4、即使蓄热体的有不同的结构类型与气体速度，RTO装置的压力损失也会小于3000Pa；

5、净化率较高，三室RTO可达到99%，两室RTO可达到95%到98%，在所有热力燃烧净化法中净化效率最高，能够达到95%以上；

RTO技术的缺点：

1、一般设备采用陶瓷蓄热体，所以装置重量大，体积大，所以一般只能放在室外；2、要求尽可能连续 *** 作（因为设备重新开机需要较长的升温时间）；3、一次性投入较大，投资的费用比较高；

4、运作费用偏高，尤其是当废气风量大、浓度低；

看完康景辉我为您总结的RTO技术的优缺点，想必您对RTO技术有了更深的理解。康景辉环境科技有限公司为用户提供设计、制造、安装维护一站式服务。通过多年的积累，我司RTO蓄热式燃烧炉具有以下技术优势：

1、工艺优良，设施运行稳定可靠，确保达标排放；

2、运行情况可以远程传输至电脑、手机、PAD、方便实时 *** 控、调整工作参数；

3、设备自动化程度高，无需专职看护，故障率低，维修保养简便。

如果想要了解更多关于RTO或者其他废气处理设备，欢迎前来康景辉网站或者电话咨询。

半导体废气处理废气介绍：由于半导体工艺对 *** 作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类：酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。废气危害：半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放，将造成严重的问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。处理方法：依据这些废气的特性，在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法，针对不同污染物，可采取以下综合处理方法：1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统

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