化学镀镍半导体拉力不好的原因

化学镀镍半导体拉力不好的原因,第1张

化学镀镍半导体拉力不好的原因

A . PH值过低,反应慢,沉积速度低

B.PH值过高,溶液会反应剧烈,呈沸腾状,出现深灰色镍粉(溶液自然分解的象征)

*** 作中可以添加氨水来补充蒸发了的氨和中和沉积反应时产生的酸4.温度:

温度对沉积速度影响很大,温度俞高,沉淀速度俞快,当温度低于700C 反应已不进行,当温度高于950C时,将大大降低溶液的稳定性,特别是加热不均匀,PH值偏高时,很容易的自然分解

5.镀镍的时间

时间过长,沉积的镍层过厚,在烧结时会导镍层致脱落,镀镍失败

时间过短,沉积的镍层过薄,烧结渗入芯片中的镍层不足,不会与二次镍足够的接合在一起,导致抗拉力不足。

本公司镀镍工艺采用渐延长时间的镀镍工艺,2-4min,控制镍层在一个比较均匀的范围内

6.烧结:

由于热能的驱动,加上镍是比较活泼的金属,在高温下镍极易向硅层中渗透。

控制点:

A.氮气的流量

因镍在高温下极易氧化,氮气作为保护气体必须提供足够的保护作用B.推拉杆的速度:

推进的速度过快:热应力过大,层与硅层的附着性降低

拉出的速度过快:芯片过热的情况下拉至炉口导致镍层氧化C.在炉口冷却足够时间:

防止芯片镍层氧化

7.去氧化镍及清洗:

目的:

A.去没有烧渗入硅层内部多余的镍层及氧化镍,为二次镍作与一次镍结合提供清洁,无杂质干扰的环境

B.如氧化镍除去不净,它会增高VF

工艺条件:

85℃热硝酸浸泡4min,浸1:10HF30秒,振清洗10:15min.

控制重点:

A.将一次镍外表的氧化镍及其它杂质振荡清洗撤底,如清洗不净会导致一次镍与二次镍之间的结合不良,最终导致一次镍与二次镍之间的

厚度有无差异就看你具体缩短多少时间加大多少电流,改变电流跟时间肯定是会有差异的,

如果电流过大,造成表面粗糙或海绵状镀层的话影响很大。首先就是不好看,其次是防腐时间降低。可以说表面局部粗糙就是不合格的镀层

加大两倍镀的话肯定已经把边缘烧坏了,镀镍最大每平方分米4安培的电流,不过这主要还是得看你的溶液浓度怎么样,光亮剂好不好,你如果想烤300度两小时的话那就得劲量做出细致的镀层,建议还是以每平方1.5-2.5的电流镀,镀层怎么样关键还是取决于你的光亮剂。

镀镍按如下方法再镀酸铜。

1、经活化后先电镀碱铜,电镀时间在10分钟左右,出槽后水洗、中和、活化,再进行铜光亮电镀。

2、电镀时间为20分钟以上,待镀层足够厚时,出槽进行水洗、活化、直接电镀黑镍或q色,电镀时间以工件表面黑色均匀为宜,然后水洗,烘干,待加工。

3、将铜光亮电镀的工件经水洗后进行发黑处理,一般采用5%的硫化钾水溶液进行浸泡,反复翻动,待工件表面呈现黑色或褐色时,将工件捞出,水洗,烘干,待加工,即可获得酸铜。


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