ITO载流子主要来源Sn4+。
在高温下沉积或进行过退火工艺的ITO薄膜中,Sn4+对In3+的取代产生的电子成为载流子的主要来源。
ITO在一般情况下为体心立方铁锰矿结构,是基于In2O3晶体结构的掺杂,In2O3中In原子是六配位,O原子是四配位,In2O3晶体结构中本征缺位氧缺位和Sn4+替代In位两种机制共同贡献了大量自由电子,因此ITO为n型半导体,载流子浓度在1021/cm3左右,为重掺杂。
透明导电氧化物TransparentConductiveOxide,TCO是一种在可见光光谱范围380nm <λ<780nm透过率很高且电阻率较低的薄膜材料,TCO薄膜材料主要有CdO,In2O3,SnO2和ZnO等氧化物及其相应的复合多元化合物半导体材料。
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