3D轮廓测量及分析仪的品牌有哪些？

目前国内3D轮廓测量仪主要品牌是中图仪器，SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

SuperView W1光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

国外品牌主要是ZYGO和Bruker

3D轮廓传感器在国内发展年限不算长属于初期发展的行业，目前来说是国外的3D传感器比较先进这是现状像日本的基恩士，加拿大的LMI，美国康耐视这些都是非常出名的，但是国外的厂家基本不会提供配套的软件服务需要自身再去 找软件外包设计软件才能使用所以成本比较大，相比与国外可能国内的起步比较晚，但是现在国内3D激光轮廓器投入大发展速度也非常快，精度都能达到微米级别，已经可以满足很大一部分的精度测量了，而且都有配套的软件服务，相比国外我们国内的产品更多的是后期软件配套服务好投入成本要小很多像现在国内的我们清波光电在国内3D激光轮廓领域就是非常不错的（LMI 最新3D传感器Gocator 2530*10 kHZ频率，集扫描，测量和在线检测于一体*100毫米视野 (远端)*X方向分辨率达28微米*Z方向可重复性为0.5微米*测量范围80毫米青波光电LH-2320*8 kHZ频率，集扫描，测量和在线检测于一体*96毫米视野 (远端)*X方向分辨率达26-48微米*Z方向可重复性为0.8微米*测量范围80毫米）

---