电子级硫酸又称高纯度硫酸、超纯硫酸,属于超净高纯试剂,是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂,是半导体工业常用的八大化学试剂之一。电子级硫酸广泛用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程,主要用于硅晶片的清洗和刻蚀,可有效去除晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。
在半导体工艺中,硫酸常用于去除光刻胶和配制洗液等。清洗中主要利用其强酸性、氧化性来解脱吸附在硅片表面的金属和无机物。浓硫酸不仅能与金属活动表中氢以前的金属作用,而且在加热条件下还能与金属活动表中氢以后的金属铜、汞、银等金属发生氧化还原反应。如果有还原性物质,硫酸的氧化性就会下降,清洗不彻底吧
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