MEMS即微机电系统，是利用微米级立体结构实现感应和执行功能的一项关键技术。其中，微米级立体结构是利用被称为“微加工”的特殊工艺实现的微米大小的立体机械结构。因为技术和经济的原因，MEMS传感器曾经被

随着科技的进步，汽车安全被逐步细化，主动安全发展势头强劲。且随着欧美、中国等国家通过立法对汽车行驶安全提出日趋严格的要求，以及相关法律的完善，主动安全系统在汽车评测系统当中的分量也会越来越重。汽车主动

新日本无线正全力投入生产用于智能手机的MEMS麦克风传感器，从2013年3月开始正式进入量产阶段。在智能手机、平板电脑、耳机套件上MEMS麦克风传感器的需求一直很旺盛，进入量产阶段后，出厂数量和销售业

美新半导体主营业务是MEMS传感器。MEMS传感器离我们并不遥远，大家日常使用的手机中其实就有MEMS陀螺仪。MEMS传感器在汽车、航天、航空、军事、消费电子产品等诸多方面都有广阔的应用潜力。要说明一

近年来，传感器技术新原理、新材料和新技术的研究更加深入、广泛，新品种、新结构、新应用不断涌现。其中，“五化”成为其发展的重要趋势。一是智能化，两种发展轨迹齐头并进。一个方向是多种传感功能与数据处理、存

Google Glass、苹果智能手表以及三星已经发售的Galaxy Gear产品提升了人们对于穿戴式设备的消费意识，穿戴式设备有望在未来数年迎来大爆发，到2018年将达到190亿美元。这一行业的快速

据传，谷歌Nexus 5以及OPPO的一款新机将采用MEMS镜头，全新的镜头将带给手机超快的对焦速度以及极低的功耗。因此“MEMS”，这个被广泛忽视了的名词引起了很多手机发烧友的关注。MEMS传感器：

谷歌眼镜的热潮还未退去，穿戴式设备的手表热、手环热也纷纷登场。未来的智能穿戴式设备即将迎来爆发期，成为中外巨头新的“竞技场”。在过去一年中，国内外许多公司都开始研发智能穿戴式设备，自从谷歌眼镜出来之后

二十一世纪，是人类信息技术高速发展的时代，以加速度、陀螺仪、压力传感器为代表的MEMS传感器，在当今人类的生活中已经开始扮演起越来越重要的角色。2012年，村田制作所以其独有的市场远见，大手笔收购芬兰

在微电子技术高速发展的浪潮中，MEMS传感器的应用也广泛起来。例如气体成分检测、3D定位技术、特殊环境的参数监测等应用。MEMS是微型电子机械系统，MEMS传感器采用微机械加工技术制造的新型传感器，属

市场研究机构 Yole Developpement 指出，微机电系统压力感测器（ MEMS pressure sensor）正在今日的产业界扮演重要角色，并因为其高兴能、低成本与小尺寸等优势，已经广泛

近期，根据欧姆龙株式会社宣布，欧姆龙已完成世界首次应用晶圆级真空封装技术的红外线传感器的研发，成功开发了具有90度广视野范围并可实现高精度区域温度检测的16x16单元型非接触式温度传感器，并拟于201

随着我国汽车电子、新型数字消费电子和医疗电子等产业的快速发展，国内市场对传感器的需求呈现出快速增长的态势。据中国电子信息产业发展研究院预测，未来五年国内传感器市场年复合增长率将超30%。汽车、物流、矿

图1是MEMS 结构氧传感器的示意图。在P型硅衬底上热氧化生长SiO2 隔离层，采用LPCVD设备生长多晶硅并光刻加热电阻。为了控制加热电阻的阻值，在多晶硅中掺入P。然后使用LPCVD法，在衬底正反两

近年来以陀螺仪、加速度计、压力传感器为代表的MEMS器件得到了快速发展，随着生活应用的不断丰富与提高，也需要更多的传感感测功能，多集成度的MEMS器件逐渐受到青睐，众多厂商推出六轴九轴十轴的MEM

横跨多重电子应用领域、全球领先的半导体供应商意法半导体（STMicroelectronics，简称ST；纽约证券交易所代码：STM）宣布其MEMS传感器出货量已突破30亿大关，这30亿颗芯片排列在一起

继MEMS器件在消费电子领域获得巨大成功后，农场上的动物可望成为MEMS传感器的下一个重要应用领域。爱尔兰农业设备制造商Dairymaster公司正为牛群打造一款内建微机电系统（MEMS）的漂亮颈圈─

微电机系统（Micro electromechanical Systems，MEMS）是将微电子和机械结合在一起的一种技术，它的出现已有几十年，但其真正发展是从二十世纪九十年代开始。而最近几年间，ME

MEMS传感器在便携式移动终端火了一把之后，业界渐渐发现它有着更多的用途，在恰当的领域使用传感器的特性可以带来了意想不到的效果。例如在体感游戏中遥控器的应用、空中鼠标和LBS当中的应用，都为MEMS传