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新型微机
技术
新型微机械加工为微器件开辟新应用领域
硅微机械加工被认为是能创造种类繁多的机电元件的一种加工手段。虽然硅基的微机械学在压力和加速度传感器的制造方面取得了巨大的成功,但很多其它类型的器件在实验室外取得成功却很有限。现在人们开发出了一种新型的
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2022-8-2
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