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抢攻20奈米缺陷检测　科磊eDR-7000上阵

值此晶圆厂先进制程迈入20奈米以下的世代交替之际，让更高晶圆缺陷检测精准度与速度的电子束(e-beam)晶圆缺陷检视设备重要性剧增。也因此，科磊(KLA-Tencor)瞄准20奈米(nm)及以下制程节

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2022-8-7
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抢攻20奈米缺陷检测 科磊eDR-7000上阵

抢攻20奈米缺陷检测　科磊eDR-7000上阵