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基于压电MEMS微执行器,的三大主流技术分享
压电MEMS通过单片即可实现微执行、能量收集、传感和无线通信,是应用潜力巨大的热点技术。压电MEMS微执行器能够精确、自主地执行复杂动作如直线、旋转、加速度、钳动等,以此完成对极微小器件与结构的纳米尺
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2022-8-11
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