查看12纳米电路需要用多少倍显微镜？

观察12纳米电路需要多少倍的显微镜？ 考虑衍射极限，即由于衍射的限制，无法得到理想的像点，而是夫琅和费衍射像，导致分辨率极限: sin theta；= 1.22λ；/D 其中 theta是角分辨率，λ；是波长，d是孔径直径。 从公式中很容易看出，最终的分辨率和光的波长在一个数量级。 对于光学显微镜，一般工作在可见光波段，波长为400nm ~ 700nm。 此时它的分辨率几乎不可能达到200nm以下，也不可能看清楚12nm的电路。 因此，我们需要一个波长非常短的波来达到更好的分辨率。 此时考虑波粒二象性产生的电子及其物质波。 由物质波公式: lambda；= h/p；f = ε；/h 只要动量足够大，就很容易得到波长足够短的电子。 当加速电压为50 ~ 100 kV时，电子束的波长约为0.0053~0.0037nm，远小于一般电磁波的波长。 在这种加速电压下，一台优秀的电子显微镜可以轻松达到0.3nm甚至更好的分辨率。 所以通常不用光学显微镜来看芯片里的电路，因为根本看不清楚。 相反，使用扫描电子显微镜(SEM)。 扫描电镜的电子束不穿过样品，只尽可能聚焦在样品的一小部分，然后逐行扫描样品。 入射电子导致样品表面被二次电子激发。 显微镜观察每个点散射的电子，放在样品旁边的闪烁晶体接收这些二次电子，放大后调制显像管的电子束强度，从而改变显像管屏幕的亮度。 因为好的电子显微镜很容易达到比芯片工艺高得多的分辨率，所以看芯片很容易。