什么是浸没工艺?

[拼音]：jinmo gongyi

[外文]：immersion technology

把红外敏感元（响应元）粘贴到透镜上，形成光学接触，借以提高室温红外探测器信噪比的光学工艺。浸没后的探测器称为浸没型探测器或浸没器件；浸没用的光学透镜称为浸没透镜；浸没用的粘合材料称为浸没介质。浸没透镜通常用具有高折射率的透射材料锗（其折射率为4）制成。它的功能是扩大探测器的视场角，提高入射辐射的能流密度，从而提高探测器的信噪比。浸没透镜的形状可以取半球形，也可以取大于半球的超半球形。后者的集光效果更佳，无论浸没透镜做成何种形状，探测器的红外敏感元均粘贴在透镜平面端的中央。浸没介质应具有一定的折射率、良好的透射性和绝缘性。锗透镜通常选用折射率为2.45的硒砷铊硫玻璃作为浸没介质。由于硒砷铊硫的折射率小于锗的折射率，根据全反射原理可知，浸没器件能够接收到的辐射的最大入射角为37°46′。热敏电阻型红外探测器和某些室温光导型探测器常做成浸没型探测器。浸没透镜兼起窗口的作用；浸没型探测器的光谱响应范围受浸没透镜和浸没介质透射性质的限制。浸没器件的工作温度受浸没介质的限制。如果不计透射损失，用锗做浸没透镜的浸没器件的信噪比是非浸没器件的4～16倍。