上海微电子量产光刻机

上海微电子28nm光刻机（国产28纳米光刻机最新情况）

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在芯片制造业中，半导体设备必不可少。除了大家熟悉的光刻机，半导体设备还包括清洗机、离子注入机、抛光机、清洗机等。都是这个市场的重要组成部分。

众所周知，半导体设备公司ASML是世界光刻机的领导者，可以生产7nm及以下的EUV光刻机。

但其实国产半导体设备也有很大的布局，再次有突破的好消息。这次国产半导体设备有什么突破性进展？国内半导体设备市场有什么潜力？

国产半导体设备再次突破

芯片制造是一个非常复杂的工业过程。如果芯片设计侧重于工业软件和芯片架构技术，那么芯片制造需要对半导体设备市场有很高的控制要求。

相应的半导体设备负责生产芯片制造过程中遇到的光刻、刻蚀、离子注入和清洗工艺。也许最引人注目的是对应于光刻步骤的掩模对准器。

因为国际市场，很多人关心ASML光刻机的供货情况，这家公司的EUV光刻机无法发货给大陆客户。原因大家都知道。虽然光刻机非常重要，但它只是芯片制造过程中的一部分。

其余半导体设备领域，国内也在努力，取得了不少突破。比如知春科技的清洗设备已经完成了28nm的认证，中电科旗下的离子注入机在全光谱国产化上有所突破，可以对应28nm工艺。

这些国产半导体器件的突破案例比比皆是，但可能有人会说，这个工艺才28nm，还不是最先进的工艺。不止是技术成熟，国产半导体又有突破，这次是5nm。

据4月7日消息，河南院研发出全自动12英寸晶圆激光刻槽设备，支持5nm DBG工艺、TAIKO超薄环切割、激光刻槽等功能。

从介绍中大致可以知道，这款半导体器件采用激光技术，支持各种类型的脉宽激光器。

取得这一研究突破的生产团队，是国产开槽设备在5nm工艺范围内能够实现良好的超薄加工能力，为国内半导体设备市场积累更高端、更自主的产业化优势。

国内半导体设备市场需要积累这类研究成果，建设自主可控的生产线。5nm工艺已经是非常高端的技术了，到目前为止，国内的半导体设备也只能达到5nm工艺的水平。

除了取得这一突破的全自动12英寸晶圆激光刻槽设备，还包括中国微半导体公司的蚀刻机设备。更多的清洗设备、物理薄膜沉积、掩膜版光刻机还处于提高国产化率的阶段，或者加速探索更高端的先进技术。做到5nm的企业都是行业龙头或者顶级研究机构。

国产半导体设备市场有何潜力？

国外开发芯片集成电路已经有半个多世纪了。英特尔、英伟达等老牌厂商是各自CPU和GPU领域的鼻祖。

这些世界领先的巨头相互支持，建立行业内先进的半导体设备。比如ASML生产的EUV光刻机，汇集了世界各地的顶尖技术，各种领先的半导体设备都来自国外供应商。

但是，如果我们着眼于国内市场，我们会发现许多半导体设备制造商正在加速。从主流领域到细分市场，几乎都是全力布局，全力以赴。那么国内半导体设备市场的潜力有多大呢？要看国内半导体设备有哪些厂商参与了征服，取得了什么样的实际进展。

首先看一下外界关注的光刻机。上海微电子是国内唯一能生产整机光刻机的厂家，前后路都有布局。前者光刻机注重光刻工艺，后者注重芯片封装。

上海微电子拥有原光刻机领域90nm成熟技术的量产能力，之前有消息称将交付28nm浸没式光刻机，但并未正式公布。关于光刻机，上海微电子已经交付了国内首款2.5D/3D封装光刻机，这是国产光刻机的一大进步。

此外，在蚀刻机领域，中国微半导体是全球顶尖的蚀刻设备制造商之一，高端蚀刻设备已进入TSMC、长江存储、华虹李鸿等晶圆制造商的生产线。

在清洗机方面，纯科技、北方华创、梅生半导体等国内企业已经掌握了相应的核心技术。其中，北方华创的清洁设备已供应给SMIC，是中国清洁设备市场领先的核心供应商。

这些只是国内半导体设备市场的冰山一角，更多的供应商公司在深入研究子件市场。华卓精科、郭旺光学、易科宏远等是掩模对准器零部件的领先制造商。

所以国产半导体设备的潜力非常大。半导体设备的每个领域都有相应的参与者。这些国内企业加在一起，可以汇聚起无穷的力量。

另外，河南研究院针对激光开槽设备，让国产半导体设备的突破更加生动。

芯片制造火热，如何把握半导体设备市场机遇？

半导体设备支撑芯片生产，所以无论实际突破效果如何，最终目的都是投入市场，实现更好的芯片制造。

企业在RD投资，推动设备上市，是为了增加收入，这样才能在未来继续保证收入。现在芯片制造火热，半导体设备需求越来越大。那么国内厂商应该如何把握半导体设备市场的机会呢？

也许可以从技术和产能两个层面入手。加强技术研发，攻克更先进的半导体设备核心技术，获得更大优势。并提高产能，向市场出口更多的半导体设备，获得更多的市场份额。因此，我为什么要担心不能在市场上站稳脚跟。

总结

国产半导体设备再次取得突破，全自动12英寸晶圆激光刻槽设备研发成功，涉及5nm工艺。这是国产半导体设备的又一次突破。相信以后会有更多的突破，不只是现在。

对此你有什么看法？

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